檢測認(rèn)證人脈交流通訊錄
- 一種型號供所有應(yīng)用工藝使用
ATP 系列提供抽速從80到900l/s的真空泵以及低極限壓力值。三種型號:
標(biāo)準(zhǔn)型
適于腐蝕性應(yīng)用工藝的C型
適用于高壓強高腐蝕性應(yīng)用工藝的HPC型
逆向動態(tài)密封
C型與HPC 型都加入了了逆向動態(tài)密封。這一特點提高了氣體吹掃在腐蝕工藝中的性能。同時,HPC型可加熱至65°C,以防冷凝。
ACT 控制器:多種遠(yuǎn)程控制接口
ACT 控制器能更好的控制與監(jiān)控ATP泵。由于其有許多控制接口可供選擇,ACT控制器更易整合。
特點:
內(nèi)部流導(dǎo)大
低轉(zhuǎn)速
內(nèi)部間隙大
優(yōu)點:
避免使用旁通管道
遇到各種突發(fā)情況時抵抗力強(空氣流入、振蕩等)
固體粉塵敏感度低(沉積、污染)
應(yīng)用:
高真空
空間模擬
沉積
粒子加速器
通用物理實驗
離子束
表面分析器
進出口室抽氣
電子顯微鏡
反應(yīng)粒子離合
物理氣象沉淀
離子注入
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