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福建廈門(mén)市安耐特科貿(mào)有限公司

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磁懸浮渦輪分子泵ATH-M 系列

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  • 主要規(guī)格：
  • 用　　途：
    • 阿迪克森磁懸浮渦輪分子泵 五大防腐特性 自動(dòng)平衡系統(tǒng) 嵌入式75加熱系統(tǒng) 5軸控制 惰性氣體吹掃 逆向動(dòng)力密封（適用于ATH400與ATH1300型） 高流量應(yīng)用 ATH 400 M, ATH 1300 M,ATH 1600 M ATH2300 and ATH 2800 MT型是專為高壓、高流量的半導(dǎo)體工業(yè)以及其他薄鍍膜工藝而設(shè)計(jì)。 緊湊而現(xiàn)代的設(shè)計(jì) 可調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)速以優(yōu)化抽氣時(shí)的參數(shù) 高平均無(wú)故障時(shí)間 使用成本低 低噪音低振動(dòng) 無(wú)需電池 應(yīng)用 玻璃鍍膜 微處理系統(tǒng)加工 離子束矯正 電子顯微鏡 空間模擬腔 粒子加速器 半導(dǎo)體工藝(刻蝕, CVD, 離子插入) 鍍膜與薄鍍膜工藝 離子銑 以及許多研發(fā)實(shí)驗(yàn)
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    孫春梅

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