檢測認(rèn)證人脈交流通訊錄
6自由度XN-810系列納米級(jí)精密定位工作臺(tái)
- 型號(hào) XN-810
結(jié)構(gòu)形式 六桿并聯(lián)式(hexapod)
驅(qū)動(dòng)方式 壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)
運(yùn)動(dòng)自由度 X,Y,Z,θX,θY,θZ
負(fù)載能力 5kg
位移分辨率 ±2nm
線性度 0.5%F.S
直線定位精度
±20nm
旋轉(zhuǎn)定位精度 ±0.6μrad
固有頻率±20% 1250Hz
剛度 75N/μm
X軸行程范圍 ±18μm
Y軸行程范圍 ±18μm
Z軸行程范圍 ±9μm
θX行程范圍 ±0.4mrad
θY行程范圍 ±0.4mrad
θZ行程范圍 ±0.6mrad
重量 1320g
操作方式 開/閉環(huán)控制
控制器 XE-500/501模塊化控制器
哈爾濱芯明天科技有限公司
yang
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- 地址:
- 哈爾濱市南崗區(qū)漢廣街41號(hào)金華大廈6層
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