檢測認證人脈交流通訊錄
XP-780.X/XP-780.Z納米級精密定位平移臺
- XP-780.X、XP-780.Z系列微動臺是一維大行程納米定位工作臺,機構采用
放大式結構,內(nèi)部使用高精度壓電陶瓷做驅(qū)動,精確定位并通過柔性鉸鏈連接
支撐傳動,實現(xiàn)工作臺面做一維微納米的微小移動,行程可達200μm,該系列
微動臺可以組合成二維、三維的微動臺產(chǎn)品,也可以與不同型號與系列的微動
臺組合成二維、三維、四維、五維等微動臺產(chǎn)品。
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