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    • 設計特點 • 熱式原理 • 一體化設計 • 滿量程從 5SCCM 到 1000SLPM • 響應時間不超過 2 秒鐘 • 操作壓力可達 20MPa • 對安裝位置不敏感 • 316SS 材質,允許測量腐蝕性氣體 • 無直管段要求 • 單電源供電 技術參數 流量范圍 :從 0-5SCCM 到 0-1000SLPM N 2 ,具體請參考表一 響應時間 : 1 ~ 2 秒 精 度 : ± 1% 滿量程(除 114 型); ± 1.5% 滿量程( 114 型) 再 現 性 : ± 0.2% 滿量程 量 程 比 : 50:1 ( 2%-100% 滿量程) 環(huán)境和操作溫度 : -10 ~ 70 ℃ 最大操作壓力 : 3000PSIG ( 20MPa ) ,具體請參考表一 零點漂移:± 0.05 % 滿量程 / ℃ 范圍漂移: ± 0.05 % 讀數 / ℃ 壓力漂移: 0.1%/atm (相對于 N 2 ) 安裝方向: 對位置不敏感 預熱時間: 10 分鐘 電氣連接: 卡式( 20 針)或 D 型( 9 針) 流量信號輸出: 0-5VDC (最小負載電阻 2K Ω ); 0-10VDC (最小負載電阻 3K Ω ); 1-5VDC (最小負載電阻 2K Ω ); 4-20mA (請參考下面的說明); 對于流量信號輸出為 4-20mA 的負載電阻: 環(huán)路電壓為 6.5-15VDC 時: 0-450 Ω 環(huán)路電壓為 15-30VDC 時: 200-750Ω 供應電源 : 電壓輸出:+ 12( ± 5 % ) (僅適用于 0-5VDC 和 1-5VDC 流量信號輸出)或 +15( ± 10 % )VDC 電流輸出:+ 15( ± 5 % ) 或 +24( ± 15 % )VDC 電流消耗:< 45mAdc 重 量 :請參考表一 結構材質 主 體: 316SS 傳感器組件 : 316LSS 密封材質(” O ”型環(huán)): Buna N , EPDM , Kalrez ? , Neoprene , Viton? 過程連接: 316SS

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