檢測認(rèn)證人脈交流通訊錄
BESTACE 5系列氣體質(zhì)量流量計(jì)/控制器
- BESTACE 5系列氣體質(zhì)量流量計(jì)及控制器,采用了316不銹鋼接液材質(zhì),具有高穩(wěn)定性、耐用性、低價(jià)位、小體積等優(yōu)點(diǎn),被廣泛用于設(shè)備配套、過程控制、測試設(shè)備等場合。5系列產(chǎn)品采用了熱式測量原理,因此也具備熱式原理的高精度、高靈敏性、寬量程比等特點(diǎn),且無需平方根修正。同時(shí)采取了毛細(xì)管取樣方式,具有極低的能耗。每臺(tái)設(shè)備出廠前都會(huì)按照客戶指定的氣體、量程,嚴(yán)格地按照NIST標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行出廠校準(zhǔn),同時(shí),比例調(diào)節(jié)閥嵌入在流體通道內(nèi),從而保證了精巧的體積。
技術(shù)參數(shù):
熱式原理
量程:流量計(jì)5SCCM~30SLPM;控制器5SCCM~20SLPM
材質(zhì):接液部位:316L不銹鋼
密封材質(zhì):標(biāo)配氟橡膠(Viton);丁納橡膠(Buna)
泄漏率:不超過1×10 毫升/秒,氦氣
環(huán)境溫度及介質(zhì)溫度:0-60℃
精度:1%FS(包括線性精度)
量程比:100:1
響應(yīng)時(shí)間:1S
重復(fù)性:優(yōu)于0.15%FS
壓力極限:500PSIG
最大壓降:流量計(jì):250Pa
控制器:7-14KPa(500SCCM以下)
控制器:35KPa(500SCCM-20SLPM)
電源:24VDC@250mA(流量計(jì))24VDC@350mA(控制器)
輸出:0-5VDC或4-20mA(此回路不可接入電源)
設(shè)定點(diǎn)信號(hào):內(nèi)置0-5VDC或外置0-5VDC(需去掉跳線)
電氣連接:9針D接口(9 Pin Sub D)
溫度影響系數(shù):優(yōu)于0.05%FS/℃
壓力影響系數(shù):優(yōu)于0.01%FS/PSI
標(biāo)準(zhǔn)溫度:21℃
標(biāo)準(zhǔn)壓力:760Torr
重量:流量計(jì):440g 控制器:460g
北京頗特儀器公司
朱小姐
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