樣品表面碳?xì)浠衔镂廴臼请娮语@微鏡低加速電壓觀察經(jīng)常遇到的問(wèn)題。樣品在較高的加速電壓下(如20kv)看似很干凈無(wú)電子束污染,但在5kv及以下時(shí)則會(huì)看到清晰的污染現(xiàn)象。

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紫外/臭氧清洗金屬類樣品表面污染

http://www.tlefpfc.cn 來(lái)源:天美(中國(guó))科學(xué)儀器有限公司 時(shí)間:2014-08-21

  樣品表面碳?xì)浠衔镂廴臼请娮语@微鏡低加速電壓觀察經(jīng)常遇到的問(wèn)題。樣品在較高的加速電壓下(如20kv)看似很干凈無(wú)電子束污染,但在5kv及以下時(shí)則會(huì)看到清晰的污染現(xiàn)象。

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