斷開制冷控制 , 制冷閥關(guān)閉, 檢查真空計(jì)通訊接口有無松動(dòng), 分子泵轉(zhuǎn)速有無發(fā)生變化, 經(jīng)檢查都正常, 說明真空機(jī)組的問題可以排除。 　　由于低溫降溫階段出現(xiàn)真空曲線異常, 先觀察在常溫和高溫狀態(tài)下高真空曲線是否能夠達(dá)到高真空度要求, 該曲線顯示真空度能達(dá)到 2X10-3Pa以上, 工作正常, 說明從主電源到各電磁閥的電氣線路正常, 電氣系統(tǒng)沒有問題。 　　雖然電氣系統(tǒng)沒有問題, 但在 2X10-3Pa真空條件下通入液氮制冷時(shí), 此故障發(fā)生說明故障應(yīng)該發(fā)生在試驗(yàn)箱制冷環(huán)節(jié)。 首先對(duì)箱體各抽氣接口的螺絲擰緊, 在液氮入口處充入壓力0.5kg左右的氮?dú)? 觀察此時(shí)高真空規(guī)顯示值有微小變化。 　　結(jié)合試驗(yàn)箱的控制過程進(jìn)一步確認(rèn)故障原因。 因?yàn)榇嗽O(shè)備熱沉采用壁厚1.5mm 紫銅板作腔體料, 內(nèi)部液氮盤管用整根長(zhǎng)的紫銅管制作, 由于熱脹冷縮, 在真空室內(nèi)沒有焊縫, 故判斷液氮進(jìn)入熱沉的外部聯(lián)接處可能有漏氣現(xiàn)象發(fā)生。 至此 , 可認(rèn)為產(chǎn)生此故障的原因是電磁閥與金屬波紋管連接真空室的連接處發(fā)生漏氣。 　　5將連接真空室的金屬波紋管拆開電磁閥發(fā)現(xiàn)其內(nèi)一塑料墊片因長(zhǎng)時(shí)間高低溫試驗(yàn)造成老化開裂, 對(duì)此電磁閥閥桿重新焊接, 在真空環(huán)境下對(duì)試驗(yàn)箱體熱沉充入液氮,真空度顯示達(dá)到 2X10-3Pa以上, 試驗(yàn)箱工作正常。