光電子能譜儀

主要技術(shù)指標(biāo)1.真空系統(tǒng)：樣品進(jìn)樣室極限真空度≤7×10-9mbar；分析室極限真空度≤1×10-10mbar，X-ray工作時分析室真空度：1×10-9mbar2.單色化XPS：靈敏度：...

中山大學(xué)

高溫凝膠色譜儀

主要技術(shù)指標(biāo)流速(ml/min):0.000-10流速精度：<0.075%RSD最高耐壓(bar):345樣品溫度范圍：室溫以上5℃-180℃示差折光檢測器噪音：<5X10-8RIU(1ml/min流速)...

中山大學(xué)

高低真空掃描分析電子顯微鏡

主要技術(shù)指標(biāo)分別率：3～4nm放大倍數(shù)：×8～×3000,000樣品尺寸：2×2～10×10EDS：131eV主要功能1、材料微觀放大成像2、材料微觀...

中山大學(xué)

電感耦合等離子體反應(yīng)離子刻蝕機

主要技術(shù)指標(biāo)蝕刻反應(yīng)室抽氣速率：真空度<5.0×10^-5Torr(15分鐘內(nèi))；蝕刻反應(yīng)室極限真空：8.0×10^-6Torr；裝載室抽氣速率：真空度<5.0×10^-2Torr(5分鐘內(nèi))；蝕...

中山大學(xué)

通用電化學(xué)系統(tǒng)

主要技術(shù)指標(biāo)滿度電流量程：2A到200nA輸出電壓:>±30V參考電極輸入阻抗：>10GΩ，電容50pF直流極化電壓范圍：±14.5V電流范圍：±2A，最大分辨率100...

中山大學(xué)

微波等離子體化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)

主要技術(shù)指標(biāo)功率發(fā)生器2kW，2.45GHz；質(zhì)量流量計10,30,50sccm；系統(tǒng)真空度優(yōu)于1.0×10-6Torr；保壓12小時后真空度優(yōu)于1.0×10-1Pa主要功能最大沉底加熱溫度900℃...

中山大學(xué)