多功能光學分析儀（帶軟件）

主要技術指標：波長范圍190-1000nm,功能/應用范圍：測量薄膜折射率,消光系數和薄膜厚度主要測試和研究領域：材料/珠寶首飾電子/信息技術收費標準：其它收費...

復旦大學材料科學系

雙束聚焦離子束系統(tǒng)

　　主要技術指標：離子束：30kv分辨率7nm，加速電壓2-30kv。電子束：鎢燈絲電子槍　　功能/應用范圍：材料微細加工及樣品制備?！　≈饕獪y試和研究領域：材料/珠寶首飾電子/信息...

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場發(fā)射掃描電子顯微鏡

　　主要技術指標：加速電壓0.5-30kv，15kv分辨率1.0nm。　　功能/應用范圍：材料及微電子、光電子器件微區(qū)形貌觀察及組份分析。　　主要測試和研究領域：材料/珠寶首飾電子/信息...

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X射線能譜儀

　　主要技術指標：分辨率125。　　功能/應用范圍：鈹以上元素定性分析?！　≈饕獪y試和研究領域：材料/珠寶首飾電子/信息技術　　收費標準：按樣品、小時數收費　　儀...

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磁控濺射裝置

　　主要技術指標：真空度<1e-6mBar，薄膜淀積速率1~10nm/min 　　功能/應用范圍：離子束濺射，可用于金屬薄膜淀積和樣品物理刻蝕 　　主要測試和研究領域...

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磁控濺射臺

　　主要技術指標：高真空　　功能/應用范圍：制備薄膜　　主要測試和研究領域：其他　　收費標準：按樣品、小時數收費　　儀器負責人：金慶原　　電話：65642059...

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摻鈦藍寶石飛秒激光器

　　主要技術指標：振蕩級:中心波長:800nm,脈沖寬度100fs,500mW,放大級:100fs,800mW,參量放大級:450-750nm　　功能/應用范圍：主要用于雙光子熒光材料的激發(fā)　　...

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超高真空系統(tǒng)

　　主要技術指標：背景真空：3*10-10mbar(原指標)；5*10-11mbar(目前可達指標)。配備LEED/Auger,RHEED　　功能/應用范圍：磁性超薄膜生長和性能測試　　主要測...

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鈦寶石飛秒激光器

　　主要技術指標：振蕩級(Tsunami)：波長720-850nm,脈寬100fs，重復頻率82MHz，功率達750mW。再生放大(Spitfire)：1kHz/0.7W　　功能/應用范圍：磁性材料動力學研究...

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濺射鍍膜系統(tǒng)

　　主要技術指標：1)Chambersize:600*750*620mm2)Ultimatepressure:8.0*10-7mbar3)3*4"Magnetrons(2*DC&1*rf)4)Co-sputteringprocess5)targetdiameter:100mm...

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飛秒激光器系統(tǒng)

　　主要技術指標：重復頻率1KHz,單脈沖能量600微焦耳，脈沖寬度50fs　　功能/應用范圍：超快光譜學、非線性光學　　主要測試和研究領域：電子/信息技術　　收費標準：其它收...

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化學機械拋光系統(tǒng)

　　主要技術指標：8寸 　　功能/應用范圍：拋光硅片 　　主要測試和研究領域：電子/信息技術 　　收費標準：其它收費方式 　...

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多光子/共焦熒顯微鏡

　　主要技術指標：橫向分辨率200-300nm，縱向500-700nm，工作深度約200um 　　功能/應用范圍：細胞熒光成像與微區(qū)光譜研究雙光子激發(fā)熒光成像 　　主要測試...

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電子束光學鍍膜機系統(tǒng)

　　主要技術指標：1.真空腔尺寸:Φ1100×12002.極限真空度:2×10-4Pa3.坩堝容積:2×1000ml3.電子槍功率：10kW　　功能/應用范圍：可用于氧化物等薄...

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矢量信號分析儀

　　主要技術指標：　　*dc-4.1GHz頻率覆蓋，具有36MHz分析帶寬　　*靈活的解調，對許多標準制式的單鍵設置　　*Agilent獨特的差錯分析特性，包括隨時間變化的EVM，隨時間變化的相...

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高真空多靶磁控濺射儀

　　主要技術指標：1、Loadlock預抽真空；2、本底真空：2*10e-8Torr；3、基板加熱，0-400度；4、基板旋轉速度可調，1-20rpm；5、三路氣體，可反應濺射；6、五個2英寸濺射槍，和一個3...

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電學測試系統(tǒng)

　　主要技術指標：電流精度10fA電容高頻1MHz 　　功能/應用范圍：用于半導體器件的電學(IV、CV)特性測試 　　主要測試和研究領域：電子/信息技術 ...

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掃描探針顯微鏡

　　主要技術指標：AFM噪聲水平0.3,可對云母、石墨原子像成像控制器反饋相應時間：2s,采樣率50MHZ掃描范圍：0.4μm×0.4μm×0.4μm或10μm×10μm×2...

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納米器件濺射儀

主要技術指標：樣品尺寸為4寸硅片濺射室極限真空優(yōu)于1.210-6Pa，進樣室(loadlock)真空優(yōu)于6.710-4Pa淀積薄膜厚度均勻性優(yōu)于3%襯底可加熱，溫度最高可達800oC 功能/應用范...

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存儲薄膜濺射儀

　　主要技術指標：極限真空：成膜室1.210-6Pa(loadlock)準備室6.710-4Pa樣品尺寸：4寸(1片/次)可通3路氣體：Ar、N2、O2(50sccm)。可做普通濺射、共濺射和反應濺射，可對樣...

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