檢測認(rèn)證人脈交流通訊錄
- 昆山nikon 尼康 L200 L200A L200D半導(dǎo)體 8寸 晶圓檢查 顯微鏡
CFI60無限遠(yuǎn)光學(xué)系統(tǒng)是將尼康著名的CF(自動消色差)設(shè)計與無限遠(yuǎn)光學(xué)系統(tǒng)結(jié)合在一起,使得物鏡不僅工作距離更長,而且數(shù)值孔徑更高;
符合SEMI S2-93A,S8-95設(shè)計;
利用計算機(jī)輔助工程系統(tǒng)(CAE)對機(jī)身進(jìn)行防震設(shè)計;
具有全面的防污染措施。
主要技術(shù)參數(shù)
調(diào)焦機(jī)構(gòu)
行程:29mm,粗調(diào):每轉(zhuǎn)12.7mm(扭矩可調(diào),具有再聚焦制動裝置),微調(diào):每轉(zhuǎn)0.1mm,每格1µm。
落射照明器 內(nèi)置12V100W鹵素?zé)?,?nèi)置式孔徑光闌(中心可調(diào)),固定型視場光闌(具有可調(diào)對準(zhǔn)板),還可安裝選配的小孔光闌滑塊,可安裝的4個ø25mm的濾光片(NCB11,ND4,ND16),具有起偏器和檢偏器。
透射照明器
(僅L200D) 內(nèi)置12V100W鹵素?zé)?,?nèi)置式孔徑光闌,內(nèi)置式LWD聚光器,可安裝的2個ø25mm的濾光片(NCB11,ND4)。
物鏡轉(zhuǎn)換器 固定式六孔萬能物鏡轉(zhuǎn)換器,具有DIC插槽
目鏡筒 超寬視場可傾式三目鏡筒
載物臺 8X8載物臺,行程:205X205mm (透射觀察時:105X105mm)粗微移動可以互換,X-Y方向微動手柄位置固定。
目鏡 CFI目鏡系列
物鏡 CFI LU/L 平場系列
昆山市富萊儀器行
魯飛宇
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