檢測(cè)認(rèn)證人脈交流通訊錄
電子顯微鏡,電鏡,進(jìn)口電鏡,進(jìn)口電子顯微鏡
- 主要規(guī)格:
- 電子顯微鏡,電鏡,進(jìn)口電鏡,進(jìn)口電子顯微鏡
- 用 途:
- 電子顯微鏡,電鏡,進(jìn)口電鏡,進(jìn)口電子顯微鏡
- 電子顯微鏡,電鏡,進(jìn)口電鏡,進(jìn)口電子顯微鏡
場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡,鎢燈絲掃描電鏡
分辨率
高真空模式(二次電子)
低真空(背散射電子)
3.0nm(30kV),8.0nm(3kV)
-
工作真空
高真空模式
低真空模式
<9×10-3Pa
-
電子光學(xué)工作模式 分辨率/景深/視野/大視野/搖擺電子束
放大倍率 3x-1,000,000x
加速電壓 200V至30KV
電子槍 鎢燈絲
探針電流 1pA至2μA
掃描速度 從200ns/pixel至10ms/pixel,可逐步或連續(xù)調(diào)整
聚焦窗口 形狀、尺寸和位置連續(xù)可調(diào)
掃描特性 動(dòng)態(tài)聚焦,點(diǎn)和線掃描,傾斜校正,3D Beam
圖象尺寸
可達(dá)8192×8192象素,可單獨(dú)調(diào)整為動(dòng)態(tài)圖象(4種)和存檔的圖象(10種),圖象比例可選1:1、4:3或2:1
顯微鏡控制 通過計(jì)算機(jī)(鍵盤、鼠標(biāo)、軌跡球)操作VEGA TC軟件,所以顯微鏡的功能均可在WindowsTM平臺(tái)下實(shí)現(xiàn)
自動(dòng)程序 真空控制,燈絲加熱,電子槍合軸,掃描模式對(duì)中,加速電壓改變的補(bǔ)償,最優(yōu)化束斑大小和探針電流,最優(yōu)化放大倍率和束斑大小,掃描速度,亮度和對(duì)比度,聚焦和消像散,Look Up Table.
遠(yuǎn)程控制 通過TCP/IP
樣品室
內(nèi)部尺寸 300mm寬×330mm深
門寬 280mm寬×310mm深
接口數(shù)量 9個(gè)以上
樣品室減震方式 氣墊(可選配內(nèi)置主動(dòng)式氣墊減震)
樣品載臺(tái)
類型 全電腦化優(yōu)中心
移動(dòng)范圍 X=130mm —— 馬達(dá)驅(qū)動(dòng)
Y=130mm ——馬達(dá)驅(qū)動(dòng)
Z=100mm —— 馬達(dá)驅(qū)動(dòng)
旋轉(zhuǎn):360°連續(xù)可調(diào)——馬達(dá)驅(qū)動(dòng)
傾斜:-20°到+80°——馬達(dá)驅(qū)動(dòng)
樣品高度 最大143mm
深圳市精誠(chéng)儀器有限公司
易建華
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