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日本電測(cè)熒光膜厚儀

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出廠價(jià)：
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主要規(guī)格：
EX-3000

用　　途：
本機(jī)能精確測(cè)量極細(xì)小物件鍍膜厚度，可進(jìn)行單層及多層膜厚測(cè)定、合金膜厚成份比同時(shí)測(cè)定及無素的光譜峰值測(cè)定分析。

產(chǎn)品型號(hào)：EX-3000 品牌：日本電測(cè) 產(chǎn)品簡(jiǎn)介：本機(jī)能精確測(cè)量極細(xì)小物件鍍膜厚度，可進(jìn)行單層及多層膜厚測(cè)定、合金膜厚成份比同時(shí)測(cè)定及無素的光譜峰值測(cè)定分析。主要技術(shù)參數(shù)：儀器特點(diǎn)：搭載MS-WINDOWS系統(tǒng)（優(yōu)越的操作性與高精度測(cè)定）使用與IBM PC兼容個(gè)人電腦，采用MS-WINDOWS軟體，使用時(shí)多彩多姿。采用二種濾波器用用數(shù)位式濾波器外另有機(jī)械式濾波器（兩種濾波器），在測(cè)定時(shí)，若是最適當(dāng)?shù)臈l件下，經(jīng)?？傻玫阶罡叩木?。準(zhǔn)值儀5種孔徑內(nèi)藏式最小的準(zhǔn)值儀孔徑僅0.1 mm，可測(cè)定極微小的部品。標(biāo)準(zhǔn)：0.1,0.2,0.5,1.0,2.0另備有2種特別規(guī)格可供選購(gòu)。 0.05,0.1,0.2,0.3,0.5 0.05*0.5,0.1,0.2,0.3,0.5 自動(dòng)測(cè)定測(cè)量臺(tái) 利用鼠標(biāo)來調(diào)整測(cè)量位置，非常敏捷快速。或是測(cè)量位置已完成登陸時(shí)，可連續(xù)自動(dòng)測(cè)定，利用座標(biāo)補(bǔ)正、連結(jié)頻道，來應(yīng)付各種測(cè)量軌跡。亦可用自動(dòng)測(cè)定來作標(biāo)準(zhǔn)片校正。優(yōu)越的顯示機(jī)能測(cè)定部顯示盡像的表示 X線照射部可由WINDOWS畫面上取得照射部的表示。從準(zhǔn)儀照射測(cè)定物的位置，可由倍率率更機(jī)能來實(shí)現(xiàn)盡面上測(cè)出物放大。在膜厚測(cè)定中的能譜表示由多頻分析器可快速處理能譜分析?？蓤?zhí)行測(cè)定物的能譜分析表示，操作簡(jiǎn)單。提長(zhǎng)資料處理的速度充實(shí)測(cè)量報(bào)告的作成機(jī)能采用MS-WINDOW軟件，測(cè)定畫的擷取，非常簡(jiǎn)便，可充襯測(cè)量報(bào)告的制作機(jī)能?？赏瑫r(shí)間隔處理多項(xiàng)工作，機(jī)器在測(cè)量中亦可處理其它工作：包括如測(cè)量報(bào)告的制作。測(cè)定物膜厚附著分布表示以三次元圖案來表示測(cè)定物膜厚附著狀態(tài)的分布，作判定時(shí)一目了然。獲得安心的保證性。自己診斷機(jī)能及X線管保食機(jī)能自己診斷機(jī)能，迅速的對(duì)策來排除機(jī)器的因擾。附有X線管的使用時(shí)間及耐久時(shí)間表示機(jī)能，可加強(qiáng)保養(yǎng)的安全性。儀器詳細(xì)介紹： 1. X線源:油浸式1.2mA小型微小焦點(diǎn)X線管. 50kV管電壓，可變管電壓。 2. 照射方式：由上而下垂直照射方式。 3. 檢出器：比例計(jì)數(shù)管。 4. 濾波器：采用 Co 和 Ni 雙濾波器及數(shù)字式濾波器，可單一或同時(shí)使用。 5. 準(zhǔn)直儀：Collimator 采用五種孔徑一體成型式，可自動(dòng)切換使用。 0.1,0.2,0.5,1.0,2.0φ㎜. (選購(gòu)) 0.05×0.5,0.05,0.1,0.2,0.5φ㎜. (選購(gòu)) 0.05,0.1,0.2,0.3,0.5φ㎜. 6. 樣品觀測(cè)系統(tǒng)：彩色CCD及高畫質(zhì)顯示屏。 7. 多能譜分析器：使用256高頻分析器，光譜自動(dòng)分析，在執(zhí)行測(cè)量及運(yùn)算時(shí)，非?？焖?。貳. 計(jì)算機(jī)操作部: 8. 計(jì)算機(jī)系統(tǒng)：(※僅供參考) IBM 兼容中文個(gè)人計(jì)算機(jī). CPU：Intel Celeron 1GHz. RAM：128 MB. Floppy Disk：3.5 ×1， 40倍速 CD-ROM ×1. Hard Disk：40 GB. 17" 高畫質(zhì)顯示屏. EPSON彩色噴墨式打印機(jī)。 9. 本機(jī)型(CO**OS-1X系列)之操作系統(tǒng)采中文窗口(Windows98)對(duì)話式操作，非常簡(jiǎn)便。 -1- 參. 特性說明: 10. 測(cè)量項(xiàng)目：單層膜厚測(cè)定. 2層膜厚測(cè)定. 3層膜厚測(cè)定. 無電解鎳膜厚測(cè)定. 合金膜厚成份比同時(shí)測(cè)定. 元素的光譜峰值測(cè)定分析. 11. 測(cè)量材質(zhì)：原子序22(Ti) ~ 82(Pb)為激發(fā)法測(cè)量。原子序22以下為吸收法測(cè)量。 12. 測(cè)量范圍：原子序22 ~ 24 ，約 0.2 ~ 20 um. 原子序25 ~ 40 ，約 0.1 ~ 30 um. 原子序 41 ~ 51 ，約 0.2 ~ 70 um. 原子序52 ~ 82 ，約 0.05~ 10 um. 13. 測(cè)量機(jī)能：同一點(diǎn)重復(fù)測(cè)定機(jī)能輸出形式設(shè)定. 能譜測(cè)定. 14. 測(cè)量條件或膜厚規(guī)格可以保存. 當(dāng)要測(cè)量相同的制品時(shí)，若測(cè)量條件已儲(chǔ)存，可以馬上進(jìn)行測(cè)量。最大檢量線檔案數(shù)：可登錄儲(chǔ)存100組檔案。最大測(cè)量檔案數(shù) ：可登錄儲(chǔ)存300組檔案。 15. 檔案記錄：每一個(gè)批號(hào)可儲(chǔ)存無限個(gè)測(cè)量數(shù)據(jù).(因所使用的計(jì)算機(jī)之容量大小而定) 每一個(gè)測(cè)量檔案可輸入及儲(chǔ)存公司名稱. 每個(gè)批號(hào)可單獨(dú)執(zhí)行統(tǒng)計(jì)處理. -2- 每個(gè)測(cè)量檔案可輸入不同的檢量線(校正曲線). 16. 數(shù)據(jù)處理：統(tǒng)計(jì)值表示：平均值、標(biāo)準(zhǔn)偏差、最大值、最小值、上下限值范圍、Cp、Cpk。 X-R 管制圖. 柱狀圖：有自動(dòng)設(shè)定及自己任意設(shè)定二種方式。可彩色打印觀物顯示屏上所觀測(cè)之圖像。 17. 底材補(bǔ)正：當(dāng)樣品與標(biāo)準(zhǔn)片的底材不同時(shí)，可作底材補(bǔ)正。 18. 觀物顯示屏：十字刻度線的高分辨率彩色觀物顯示屏。肆. 安全裝置. 19. 本機(jī)俱有自動(dòng)安全斷電系統(tǒng)功能. 20. 由鎖匙開關(guān)來控制X 線輸出，以防止外人任意操作. 伍. 其它機(jī)能. 21. 密碼辨識(shí)功能 22. 裝置維護(hù)調(diào)整. 23. 測(cè)量部主機(jī)：尺寸：362(W) ×425(D) ×486(H) ㎜. 重量：約 44.2 Kg. 24. 操作部：(※僅供參考) 計(jì)算機(jī)尺寸：180(W) ×420(D) ×360(H) ㎜. 重量：約 8.8 Kg. 顯示屏尺寸：360(W) ×420(D) ×370(H) ㎜. 重量：約16.5 Kg. 打印機(jī)尺寸：500(W) ×250(D) ×300(H) ㎜. 重量：約 4.3 Kg. -3- 柒. X-Y-Z軸可移動(dòng)式測(cè)量臺(tái). 25. 測(cè)量臺(tái)尺寸及移動(dòng)量. 測(cè)量臺(tái)尺寸 170 (W) ×100 (D) ㎜移動(dòng)量(X-Y-Z軸) 70 ×70 ×50 ㎜. 26. 測(cè)量樣品限制. 樣品限制高度： 45㎜樣品限制重量： 3 Kg. 捌. 使用電源. 27. 電壓: AC100V ±10V ； 50/60Hz (選購(gòu)) AC110V， AC220V. 28. 容量: 700V

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