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等離子去光阻機(jī)PA01/PA03B

  • 這真不是您需要的產(chǎn)品？
  • 品　　牌：
  • 主要規(guī)格：
  • 用　　途：
    • 功能 快速去除晶圓上之殘留光阻，達(dá)到晶圓表面潔凈，蝕刻率同業(yè)最高 特點(diǎn) ‧處理均勻性佳 ‧離子能量低、不損傷基板 ‧沒(méi)有電極及基板的污染 ‧專(zhuān)利設(shè)計(jì)之特殊等離子電極 ‧高密度等離子源 ˇ等離子效率高、清潔效率高 ˇ可控制低的離子能量 ˇ結(jié)合化學(xué)反應(yīng)性及物理撞擊性 ‧處理速度快、清潔效率高、可靠度高 ‧操作范圍廣 ‧可使用多種制程氣體 ‧全自動(dòng)且容易操作 ‧設(shè)備穩(wěn)定高，容易維護(hù) ‧可依客戶需求作更改 應(yīng)用產(chǎn)業(yè) ‧殘余光阻去除 ‧藍(lán)膜殘膠去除 ‧PSS 來(lái)料清潔制程
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    梁雅娟

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