檢測認證人脈交流通訊錄
高純氦
- 用 途:
- 生成鍺和硅晶體的保護氣,某些混合氣的底氣,清洗、屏蔽和加壓系統(tǒng)的惰性氣體,氣相色譜 載氣,焊接保護氣,充氦飛船;
- 氣體名稱 化學式 規(guī)格(%) 雜質(zhì)(ppm)
氦氣 He 99.995 TCH4≤1 CO2≤1 Ne≤10 H2≤3 CO≤1 H2O≤10
99.999 O2≤1 TCH4≤1 CO2≤0.5 Ne≤4 H2≤1 CO≤0.5 H2O≤1
99.9995 O2≤0.5 TCH4≤0.1 CO2≤0.2 Ne≤1 H2≤0.1 CO≤0.1 H2O≤1
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