光學(xué)輪廓儀NT9800Wyko NT9800是目前功能最強(qiáng)大的光學(xué)輪廓儀，可快速地測(cè)量臺(tái)階高度、表面粗糙度及一系列形貌參數(shù)。作為Veeco行業(yè)領(lǐng)先的第九代NT系列產(chǎn)品線的最高端產(chǎn)品，NT9800可對(duì)0.1nm至10毫米尺寸進(jìn)行非接觸式三維測(cè)量，并具有納米量級(jí)的垂直分辨率。

　　具有定標(biāo)功能的NT9800能夠協(xié)助產(chǎn)前工藝及滿足產(chǎn)品開(kāi)發(fā)的需要，并可作為一個(gè)向量產(chǎn)過(guò)渡地穩(wěn)定的，可靠的平臺(tái)。采用Veeco獨(dú)有的內(nèi)部參考激光將測(cè)量的標(biāo)準(zhǔn)臺(tái)階上的偏差降低到最小，同時(shí)可彌補(bǔ)自環(huán)境或機(jī)械不穩(wěn)定性造成的系統(tǒng)飄移。NT9800將最強(qiáng)大的測(cè)量核心技術(shù)、全自動(dòng)化功能、大于十年以上的量產(chǎn)支持體系，及使用簡(jiǎn)便的界面集于一身，已成為要求苛刻的科學(xué)研究及生產(chǎn)實(shí)踐的最佳選擇。

　　行業(yè)領(lǐng)先的Wyko Vision軟件有超過(guò)200種的數(shù)據(jù)分析工具，包括自動(dòng)序列測(cè)量、數(shù)據(jù)記錄及及時(shí)反饋和SPC的合格/不合格標(biāo)準(zhǔn)評(píng)判。可選的數(shù)據(jù)分析包有膜厚分析軟件(針對(duì)100nm以上的透明薄膜)。SureVision分析模板可便利地實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化，MATLAB界面可使工程師自行編程及整合用戶分析算法。

　　NT9800光學(xué)輪廓儀是一款操作簡(jiǎn)便、目前最高端的光學(xué)輪廓儀。