檢測認證人脈交流通訊錄
IN-2000臭氧分析儀
- 用 途:
- IN-2000型雙光路高精度紫外臭氧分析儀
- IN-2000型雙光路高精度紫外臭氧分析儀
本產(chǎn)品是同類產(chǎn)品中的高精確度高品質(zhì)臭氧分析儀,它目前主要用于半導體、芯片、CVD,ALD等領域。由于它優(yōu)異的品質(zhì),使得它成為那些需要長時期、高穩(wěn)定地提供連續(xù)測量和工藝控制的客戶的正確選擇,長期使用的所有者成本低。是監(jiān)測氣體發(fā)生設備、氣柜、氣體輸送系統(tǒng)以及半導體設備的臭氧濃度的理想選擇。也可用于環(huán)境監(jiān)測、職業(yè)衛(wèi)生和科學研究。
主要特點:
微機控制 • 紫外吸收技術
可訂購多達5個取樣點 壓力和溫度補償能力
內(nèi)置現(xiàn)場編程,可編次序 • 定光學系統(tǒng)
每通道4-20mA隔離輸出 • 每通道雙報警
主要技術規(guī)格
取樣點數(shù)量:1,3或5個內(nèi)置式多通道閥
量程:0-1ppm,0-10ppm,0-100ppm, 或 0-1000ppm可選。
精度等級:5ppb(0-1ppm量程),0.01ppm(0-10ppm量程),0.1ppm(0-100ppm量程),
分辨率高:0.001ppm(0-1PPM),0.01ppm(0-10PPM)
流量:內(nèi)置泵,流量可調(diào)(不大于2L/m)
輸出:模擬4~20mA,以及數(shù)字輸出
CE認證;內(nèi)部自;RS-232通訊接口
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