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三坐標(biāo)幾何誤差激光干涉測(cè)量?jī)x

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    • 中圖儀器SJ6000三坐標(biāo)幾何誤差激光干涉測(cè)量?jī)x利用激光干涉現(xiàn)象來(lái)實(shí)現(xiàn)非接觸式測(cè)量,具有高精度、高分辨率、快速測(cè)量等優(yōu)點(diǎn)??梢詸z測(cè)三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)等精密運(yùn)動(dòng)設(shè)備其導(dǎo)軌的線性定位精度、重復(fù)定位精度等,以及導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等。 SJ6000激光干涉儀具有測(cè)量精度高、測(cè)量范圍大、測(cè)量速度快、高測(cè)速下分辨率高等優(yōu)點(diǎn),結(jié)合不同的光學(xué)鏡組,可實(shí)現(xiàn)線性測(cè)長(zhǎng)、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測(cè)量。在SJ6000激光干涉儀動(dòng)態(tài)測(cè)量軟件配合下,可實(shí)現(xiàn)線性位移、角度和直線度的動(dòng)態(tài)測(cè)量與性能檢測(cè),以及進(jìn)行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動(dòng)態(tài)分析,如振動(dòng)分析、絲桿導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等。 產(chǎn)品功能 (1)可實(shí)現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉(zhuǎn)軸等幾何參量的高精密測(cè)量; (2)可檢測(cè)數(shù)控機(jī)床、三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)等精密運(yùn)動(dòng)設(shè)備其導(dǎo)軌的線性定位精度、重復(fù)定位精度等,以及導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等; (3)可實(shí)現(xiàn)對(duì)機(jī)床回轉(zhuǎn)軸的測(cè)量與校準(zhǔn); (4)可根據(jù)用戶(hù)設(shè)定的補(bǔ)償方式自動(dòng)生成誤差補(bǔ)償表,為設(shè)備誤差修正提供依據(jù); (5)具有動(dòng)態(tài)測(cè)量與分析功能,包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等,可進(jìn)行振動(dòng)分析、絲桿導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等; (6)支持手動(dòng)或自動(dòng)進(jìn)行環(huán)境補(bǔ)償。 測(cè)量軟件 (1)友好的人機(jī)界面; (2)豐富的應(yīng)用功能模塊; (3)向?qū)降牟僮髁鞒蹋? (4)簡(jiǎn)潔化的記錄管理; (5)支持中文、英文和俄文界面; (6)支持企業(yè)專(zhuān)屬模板定制。 SJ6000三坐標(biāo)幾何誤差激光干涉測(cè)量?jī)x以干涉技術(shù)為核心,其光波可直接對(duì)米進(jìn)行定義。采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù),可實(shí)現(xiàn)高精度、抗干擾能力強(qiáng)、長(zhǎng)期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出;采用高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊,可實(shí)現(xiàn)激光波長(zhǎng)和材料的自動(dòng)補(bǔ)償;干涉鏡與主機(jī)分離設(shè)計(jì),避免干涉鏡受熱影響,保證干涉光路穩(wěn)定可靠。 應(yīng)用案例 機(jī)床測(cè)量.jpg 應(yīng)用場(chǎng)景.jpg 部分技術(shù)指標(biāo) 主機(jī) 穩(wěn)頻精度:0.05ppm 動(dòng)態(tài)采集頻率:50 kHz 預(yù)熱時(shí)間:≤ 6分鐘 工作溫度范圍:(0~40)℃ 存儲(chǔ)溫度范圍:(-20~70)℃ 環(huán)境濕度:(0~95)%RH 環(huán)境補(bǔ)償單元 空氣溫度傳感器:±0.1℃ (0~40)℃,分辨力0.01℃ 材料溫度傳感器:±0.1℃ (0~55)℃,分辨力0.01℃ 空氣濕度傳感器:±6%RH (0~95)%RH 大氣壓力傳感器:±0.1kPa (65~115)kPa 線性測(cè)量距離:(0~80)m (無(wú)需遠(yuǎn)距離線性附件) 角度測(cè)量范圍:±10° 平面度測(cè)量范圍:±1.5mm 直線度測(cè)量范圍:±3mm 垂直度測(cè)量范圍:±3/M mm/m 便攜箱尺寸:613*460*230mm 標(biāo)準(zhǔn)配置重量:18kg 懇請(qǐng)注意:因市場(chǎng)發(fā)展和產(chǎn)品開(kāi)發(fā)的需要,本產(chǎn)品資料中有關(guān)內(nèi)容可能會(huì)根據(jù)實(shí)際情況隨時(shí)更新或修改,恕不另行通知,不便之處敬請(qǐng)諒解。 如有疑問(wèn)或需要更多詳細(xì)信息,請(qǐng)隨時(shí)聯(lián)系中圖儀器咨詢(xún)。

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