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全自動(dòng)磁控濺射系統(tǒng)安全聯(lián)鎖功能

  • 這真不是您需要的產(chǎn)品？
  • 品　　牌：
  • 主要規(guī)格：
  • 用　　途：
    • 　　NSC-3000（A）全自動(dòng)磁控濺射系統(tǒng)概述：帶有水冷或者加熱(可加熱到700度)功能，可達(dá)6"旋轉(zhuǎn)平臺(tái)，支持到3個(gè)偏軸平面磁控管。系統(tǒng)配套渦輪分子泵，極限真空可達(dá)10-7Torr，15分鐘內(nèi)可以達(dá)到10-6Torr的真空。通過(guò)調(diào)整磁控管與基片之間的距離，可以獲得想要的均勻度和沉積速度。 　　NSC-3000（A）帶有14”立方形鋁質(zhì)腔體，3個(gè)2”的磁控管，DC直流和RF射頻電源。在選配方面，我們提供不銹鋼腔體，260l/s渦輪分子泵，額外的磁控管和襯底加熱功能。 　　NSC-3000（A）全自動(dòng)磁控濺射系統(tǒng)產(chǎn)品特點(diǎn)： 　　不銹鋼，鋁質(zhì)腔體或鐘罩式耐熱玻璃 　　70或250l/s的渦輪分子泵，串接機(jī)械泵或干泵 　　13.56MHz，300-600WRF射頻電源以及1KWDC直流電源 　　晶振夾具具有的<1?的厚度分辨率 　　帶觀察視窗的腔門易于上下載片 　　基于LabView軟件的PC計(jì)算機(jī)控制 　　帶密碼保護(hù)功能的多級(jí)訪問(wèn)控制 　　*的安全聯(lián)鎖功能 　　預(yù)真空鎖以及自動(dòng)晶圓片上/下載片 　　全自動(dòng)磁控濺射系統(tǒng)如有需要?dú)g迎訪問(wèn)以下網(wǎng)址與我們?nèi)〉寐?lián)系 　　http://www.nanochina17.com/NChina-Products-21818350/ 　　https://www.chem17.com/st312447/product_21818350.html

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