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德國AlphaPlasma等離子去膠機(jī)應(yīng)用列表

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用　　途：

　　Tergeo-Pro等離子系統(tǒng)未來將腔室直徑增加到9英寸（230毫米）。腔室的深度增加到13.4英寸（430毫米）。Tergeo-Pro等離子系統(tǒng)足夠大，可以容納8英寸晶圓。它也足夠大，可容納一兩個25/50槽6"或4"石英晶舟。Tergeo-Pro等離子系統(tǒng)可以具有150瓦、300瓦或500瓦的射頻功率。射頻功率可以以1瓦的間隔進(jìn)行調(diào)整。射頻電源的頻率為13.56MHz，提供比KHz射頻等離子系統(tǒng)更高的等離子生成效率。Tergeo等離子系統(tǒng)不僅可以調(diào)整射頻功率，還可以產(chǎn)生連續(xù)或脈沖等離子。脈沖比可以從100%調(diào)整到小于1%。夸脫室壁結(jié)構(gòu)可實現(xiàn)外部電容耦合射頻電極設(shè)計。　　Tergeo-Pro等離子清洗機(jī)的應(yīng)用類似于較小的Tergeo等離子系統(tǒng)，不同之處在于它可以接受更大的樣品。以下是典型應(yīng)用列表：　　光刻膠灰化、除渣和硅片清洗　　在引線鍵合、倒裝芯片底部填充、PCB去污之前清潔芯片　　生物醫(yī)用涂層前表面處理，提高醫(yī)用植入物的親水性　　環(huán)氧樹脂粘合前的光學(xué)元件、玻璃、光纖頭和基板清潔　　PDMS、微流體、載玻片和芯片實驗室　　改善金屬與金屬或復(fù)合材料的粘合　　改善塑料、聚合物和復(fù)合材料的粘合　　特征：　　大型樣品室（內(nèi)徑：9英寸/230毫米，深度：13.4英寸/340毫米）。足以容納一個8英寸晶圓，一個或兩個25/50槽6"/4"石英晶圓舟。　　等離子放電法：電容耦合等離子放電與外部彎曲放電電極。　　連續(xù)和脈沖等離子體。脈沖比可以從100%（連續(xù)）更改為小于1%。Tergeo等離子系統(tǒng)不僅以1瓦的間隔調(diào)整射頻功率瓦數(shù)，而且還產(chǎn)生連續(xù)和脈沖等離子。改變等離子體強(qiáng)度超過幾個數(shù)量級。　　操作方式：自動配方執(zhí)行；自動作業(yè)序列執(zhí)行；手動操作。　　等離子傳感器：等離子強(qiáng)度傳感器實時監(jiān)測等離子狀態(tài)，并為用戶提供不同配方條件下等離子強(qiáng)度的定量反饋。等離子傳感器還可以監(jiān)測等離子灰化過程的進(jìn)程并用作終點指示器。等離子強(qiáng)度實時顯示在液晶觸摸屏顯示器上。　　德國AlphaPlasma等離子去膠機(jī)如有需要?dú)g迎訪問以下網(wǎng)址與我們?nèi)〉寐?lián)系　　http://www.mycro.net.cn/mycro-SonList-935897/ 　　https://www.chem17.com/st119375/erlist_935897.html

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