檢測(cè)認(rèn)證人脈交流通訊錄
- WS-1000MLaurell-WS半導(dǎo)體濕法刻蝕系列,全白色聚丙烯構(gòu)造,可內(nèi)置任何Laurell公司的旋涂機(jī)及顯影機(jī),排放簡便的入氮口和DI噴頭,如果需要單工的系統(tǒng),可選擇WS-1000濕法刻蝕設(shè)備,WS-1000系列旋轉(zhuǎn)處理濕法設(shè)備可以被配置成測(cè)試模塊構(gòu)造,安裝簡便,易于拆卸,更便于操作者控制。
一、半導(dǎo)體濕法刻蝕設(shè)備功能:
●涂敷Coating
●刻蝕Etching
●顯影Developing-Aqueous/Solvent
●清洗Cleaning-Aqueous/Solvent
●可選配,Sulfuric硫化物/Peroxide,溶液處理(insitumixing)
●可選配,HBr溶液處理
●帶溫控的顯影功能
●沖洗甩干
二、半導(dǎo)體濕法刻蝕設(shè)備特點(diǎn):
●全PP材質(zhì)構(gòu)造
●可集成Laurell勻膠旋涂系統(tǒng)
●有排孔的濕站操作臺(tái)(易清潔)
●特殊設(shè)計(jì)的濕站壓力系統(tǒng)Wetplenum
●帶流量計(jì)的排液管道
●各類組件的隔離設(shè)計(jì)(散熱原件,泵浦和壓力容器等)
三、半導(dǎo)體濕法刻蝕設(shè)備材料選擇:
可以根據(jù)應(yīng)用選擇更高級(jí)的材料;
●WS-1000-CP5符合SEMIS93標(biāo)準(zhǔn)應(yīng)用在消防安全和潔凈空間等領(lǐng)域。CP5符合UL94V-O火災(zāi)分類標(biāo)準(zhǔn)。它具有優(yōu)良的平衡的物理性能,耐化學(xué)藥品性和耐火性。
●WS-1000-CP7-D的材料阻燃特性符合嚴(yán)格的FMRC4910測(cè)試標(biāo)準(zhǔn),滿足多方面條件下的難燃性,自熄特點(diǎn)和徹底燃燒。這種先進(jìn)的材料也達(dá)到或超過產(chǎn)生低煙和小毒副產(chǎn)品的檢測(cè)標(biāo)準(zhǔn)。
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邢臺(tái)德延科技有限公司
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