檢測認(rèn)證人脈交流通訊錄
- 一、探針式輪廓儀/臺階儀產(chǎn)品參數(shù):
1.測量功能:二維表面輪廓測量/可選三維測量
2.樣品視景:可選放大倍率,1to4mmFOV
3.探針壓力:使用LIS3傳感器1至15mg
4.低作用力:使用N-Lite+低作用力傳感器:0.03至15mg
5.探針曲率半徑可選范圍:50nm至25um
6.高徑比(HAR)針尖:10umx2um和200umx20um可按客戶要求定制針尖
7.樣品X/Y載物臺:
手動(dòng)X-Y平移:100mm(4英寸)
機(jī)動(dòng)X-Y平移:150mm(6英寸)
8.樣品旋轉(zhuǎn)臺:手動(dòng),360°旋轉(zhuǎn)機(jī)動(dòng),360°旋轉(zhuǎn)
9.掃描長度范圍:55mm(2英寸)
二、探針式輪廓儀/臺階儀技術(shù)優(yōu)勢:
1.每次掃描數(shù)據(jù)點(diǎn):最多可達(dá)120.000數(shù)據(jù)點(diǎn)
2.最大樣品厚度:50mm(2英寸)
3.最大晶圓尺寸:200mm(8英寸)
4臺階高度重現(xiàn)性:<4A,1sigma在1um臺階上
5.垂直范圍:1mm(0.039英寸)
6.垂直分辨率:最大1A(6.55um垂直范圍下)
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襄都區(qū)采潤機(jī)械設(shè)備店
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