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圓探針式臺(tái)階儀

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  • 主要規(guī)格:
  • 用  途:
    •   一、自動(dòng)晶圓探針式輪廓儀/臺(tái)階儀的功能   通過(guò)點(diǎn)擊式平臺(tái)控制、頂視和側(cè)視光學(xué)系統(tǒng)以及光學(xué)變焦相機(jī)等功能,程序設(shè)置簡(jiǎn)便快速。 P-17有用于量化表面形貌的各種濾鏡、調(diào)平和分析算法,可支持2D或3D測(cè)量。 圖案識(shí)別、排序和特征檢測(cè)實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)測(cè)量。   設(shè)備特點(diǎn)   臺(tái)階高度:幾納米至1000μm  微力恒力控制:0.03至50mg   樣品全直徑掃描,無(wú)需圖像拼接  視頻:500萬(wàn)像素高分辨率彩色攝像機(jī)   圓弧校正:消除由于探針的弧形運(yùn)動(dòng)引起的誤差   軟件:簡(jiǎn)單易用的軟件界面  生產(chǎn)能力:通過(guò)測(cè)序、圖案識(shí)別和SECS/GEM實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)化   主要應(yīng)用   臺(tái)階高度:2D和3D臺(tái)階高度  紋理:2D和3D粗糙度和波紋度   形狀:2D和3D翹曲和形狀  應(yīng)力:2D和3D薄膜應(yīng)力   缺陷復(fù)檢:2D和3D缺陷表面形貌   工業(yè)應(yīng)用   半導(dǎo)體和化合物半導(dǎo)體  LED:發(fā)光二極管   太陽(yáng)能  MEMS:微機(jī)電系統(tǒng)   數(shù)據(jù)存儲(chǔ)  汽車   圓探針式臺(tái)階儀產(chǎn)品來(lái)源:   https://www.chem17.com/st125795/erlist_2338024.html   http://www.natengyiqi.com/Products-36785881.html

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