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勻膠機(jī)吸盤(pán)

　　勻膠機(jī)吸盤(pán)在旋涂過(guò)程中一般采用自轉(zhuǎn)式旋涂的方式來(lái)完成工藝。因此基片需要固定在旋轉(zhuǎn)吸盤(pán)上，通常采用的方法是真空吸附，所以吸盤(pán)的大小以及真空的強(qiáng)度兩者對(duì)基片吸附后產(chǎn)生的形變有一定的影響，如吸盤(pán)面積越小，吸附后產(chǎn)生的形變就越大,這時(shí)所旋涂的基片片內(nèi)膜厚誤差會(huì)加大，且容易產(chǎn)生干涉花紋，通過(guò)實(shí)際驗(yàn)證后得出：吸盤(pán)面積占所吸附基片面積的1/2~2/3為佳。　　勻膠機(jī)的吸盤(pán)（英文名稱：chuck）又稱勻膠機(jī)載物盤(pán)，勻膠機(jī)托盤(pán)、真空托盤(pán)、勻膠機(jī)片托等。　　根據(jù)勻膠機(jī)固定基片的方式不同又可細(xì)分為真空托盤(pán)和非真空托盤(pán)，而我們口中常說(shuō)的“吸盤(pán)”便是采用真空吸附的方式，將基片吸附在真空托盤(pán)表面。由此而衍生的轉(zhuǎn)接托盤(pán)便是利用同心圓的原理來(lái)實(shí)現(xiàn)基片和電機(jī)旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)速達(dá)到一致. 　　更多產(chǎn)品信息訪問(wèn)武漢月憶神湖科技有限公司　　https://www.chem17.com/st504055/erlist_2339554.html 　　http://www.whyueyi.com/Products-36793039.html

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