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檢測認證人脈交流通訊錄

XP-703D 半導(dǎo)體特氣檢漏儀

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  • 用  途:
    • 特點:
        A:最適用于半導(dǎo)體材料氣體的超微量泄漏檢測
        B:通過報警燈及蜂鳴器即可得知氣體泄漏
        規(guī)格:

      型號

      XP-703D

      檢測對象氣體

      半導(dǎo)體材料氣體(胂、膦、乙硼烷、硅烷、氫氣等)

      檢測原理

      熱線型半導(dǎo)體式

      采樣方式

      自動吸引式

      可檢測濃度
      (單位:ppm)

      砷烷    磷烷    乙硼烷    硅烷    氫氣
      AsH3    PH3     B2H6     SiH4    H2
      0.2     0.3      0.1     0.5     1.0

      檢測表示

      蜂鳴器斷續(xù)鳴響及指示燈閃爍

      應(yīng)答速度

      10 秒以內(nèi)


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