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金剛石材料在寬禁帶半導體方面的研究與應用

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    • 金剛石材料在寬禁帶半導體方面的研究與應用
            福建金剛石材料作為一種寬禁帶半導體,在光電子學中的應用前景定是引人注目的。但是由于n型金剛石半導體摻雜存在著一些困難,使制備同質結的困難增大,目前領先的依然是麻省理工學院有關于金剛石薄膜p-n結的研究,2001年麻省理工學 院的Koizumi等頭次制備了金剛石薄膜p-n結,在金剛石單晶的(111)面上以同質外延生長的方法制備了兩層金剛石薄膜,p型半導體使用B元素摻雜福建金剛石材料薄膜而成,n型半導體則以P元素摻雜制備,然后他們對這個裝置進行了改進,在施加20V偏壓電路的情況下,裝置會激發(fā)出紫外光,并且指出,該裝置可以在高溫下運作。
            金剛石表面經過氫等離子體濺射處理后,形成氫終端表面。1989年,Landstrass首先報道了氫終端表面表現出p型導電性,隨后,其他人證實了這一發(fā)現 。1997年,Hayashi等發(fā)現氫表面 化處理含B金剛石薄膜后,其表面電學性能也表現出了與未摻雜金剛石相同的變化規(guī)律。氫終端金剛石材料作為場發(fā)射晶體管的研究已經有超過10年的歷史了,麻省理工學院的研究小組首先對金剛石的發(fā)射表面進行了分析,發(fā)現在B摻雜和N摻雜后的費米能級附近的電子發(fā)射特性;接著他們制備了用作場發(fā)射陰極的金剛石材料,考察了金屬-金剛石之間接觸電流,提出了金剛石在真空中的電子釋放機理。
            電子流密度的考察一般用飛行時間質譜(TOF)來檢測,利用TOF進行了TOFs電子飛行 時間的分析也是可行的。但是要注意,由于測量條件的限制,比較TOFs的數值存在著一定的困難,因為離子在離開離子源的時候初始能量不同,會影響具有相同質荷比的離子達到檢測器的時間有一定分布,造成分辨能力下降。當然,在同一小組內發(fā)表的報告里比較TOFs的數值還是有一定的意義的。
            采用離子濺射等方法制備的金剛石點陣也展現出良好的場發(fā)射特性,在福建金剛石材料單晶或是單晶Si片上制備納米金剛石金字塔形的點陣具有更好的發(fā)射率。
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