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HORIBA STEC LE-10液體汽化器/控制器

這真不是您需要的產(chǎn)品？
品　　牌：
日本HORIBA

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出廠價(jià)：
0

主要規(guī)格：
STEC LE-10

用　　途：
精確計(jì)測和控制

HORIBA STEC LE-10液體汽化器/控制器 Specifications Application liquid H2O/IPA/TEOS/SiCl4 Please contact HORIBA if you require vaporizing any liquid materials that are not listed here. Maximum vaporization volume (gas flow rate) H2O : 10g/min (12.4 SLM) IPA ： 30g/min (11.1 SLM） TEOS : 50g/min（5.3 SLM） SiCl4 ： 130g/min（17.1 SLM） HORIBA STEC提供多種不同類型的氣體質(zhì)量流量控制器以滿足客戶不同的需求。所有產(chǎn)品都擁有高精度、快速響應(yīng)的特性。多種不同類型的氣體質(zhì)量流量控制器皆擁有寬泛的流量范圍，客戶可選擇適合的閥門類型。我們可提供三種閥門，客戶可選擇熱式閥門、電磁線圈閥門、或者壓電陶瓷閥。同樣我們也可提供多種不同的通訊方式，包括模擬式、數(shù)字式、DeviceNet?，以及PROFIBUS?，RS485，cc-link，(取決于產(chǎn)品型號)。我們產(chǎn)品的流量范圍可覆蓋微量流量直至更大流量。 HORIBA STEC質(zhì)量流量控制器是一種計(jì)測和控制流體流量的裝置。流體的流量計(jì)測通?？煞譃轶w積流量和質(zhì)量流量。體積流量由于受到計(jì)測時(shí)環(huán)境溫度和壓力的影響，如需要準(zhǔn)確測定時(shí)，必須對溫度和壓力進(jìn)行調(diào)整。而質(zhì)量流量計(jì)在測定流體質(zhì)量的時(shí)候，不容易受到環(huán)境溫度和壓力等外在因素的影響而能準(zhǔn)確地進(jìn)行流體測量。在必須對流量進(jìn)行精確計(jì)測和控制的領(lǐng)域，質(zhì)量流量控制器被廣泛的使用，例如半導(dǎo)體工業(yè)、太陽能光電工業(yè)和微電子加工制造業(yè)等提供多氣體，多量程的解決方案，是銷量很多的氣體質(zhì)量流量控制器。高精度，快速響應(yīng)，輕巧的尺寸。全金屬密封，橡膠密封適用于廣泛范圍的流量控制：在同一系列中，適于從0.2SCCM到500SLM(N2)的流量控制適用于廣泛的用途：在普通產(chǎn)業(yè)市場中，擁有眾多的銷售業(yè)績：產(chǎn)品系列中有力求具有成本優(yōu)勢的型號：SEC-E40MK3/E50MK3 SEC-E60 用于寬廣范圍的流量控制，其控制范圍可以從0.2 SCCM到1000 SLM（以N2為標(biāo)準(zhǔn)）應(yīng)用領(lǐng)域化工/石化/石油/天然氣　　生物反應(yīng)/生命科學(xué) 　　食品飲料 LED FPD 　　冶金　　電力能源及水處理　　造紙　　環(huán)境保護(hù)及控制　　汽車　　半導(dǎo)體/光伏　　微電子 EPC及系統(tǒng)集成商

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