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HORIBA STEC D512MG D522MG壓力式質(zhì)量流量控制器

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品　　牌：
日本HORIBA

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出廠(chǎng) 價(jià)：
0

主要規(guī)格：
STEC D512MG D522MG

用　　途：
精確計(jì)測(cè)和控制

日本HORIBA STEC壓力式氣體質(zhì)量流量控制器，不受壓力波動(dòng)影響 HORIBA STEC Pressure Insensitive mass flow module installed with the differential pressure detection and the piezo actuator valve. The CRITERION D500 has all performance for the advanced semiconductor manufacturing process; pressure insensitive, multi-range/multi-gas/multi-pressure, G-LIFE (Gas Law check of Integrated Flow restrictor Equation) Self-Diagnosis function, high accuracy, fast response, wide range, and all-metal. Visit our Mass Flow Controller Comparison page for assistance in choosing the right Mass Flow Controller to meet your requirements. Features Pressure Insensitive Performance A new high-performance Pressure Insensitive function provides for simplified gas supply systems Multi-range,multi-gas,multi-pressure solution The new functions allow the user to change gas type, Full-scale flow rate, and supply pressure range G-LIFE (Gas Law check of Integrated Flow restrictor Equation) Self-Diagnosis function The advanced process health monitoring function allows operators to conduct their own tests, typically in three seconds or less for improved throughput High Accuracy Flow rate accuracy for process gas has been improved with an advanced three-dimensional adjustment Fast Response Response: < 0.8 second Accurate, stable flow control has been realized Dynamic Range Wide control range: 0.2% F.S. to 100% F.S. HORIBA STEC提供多種不同類(lèi)型的氣體質(zhì)量流量控制器以滿(mǎn)足客戶(hù)不同的需求。所有產(chǎn)品都擁有高精度、快速響應(yīng)的特性。多種不同類(lèi)型的氣體質(zhì)量流量控制器皆擁有寬泛的流量范圍，客戶(hù)可選擇適合的閥門(mén)類(lèi)型。我們可提供三種閥門(mén)，客戶(hù)可選擇熱式閥門(mén)、電磁線(xiàn)圈閥門(mén)、或者壓電陶瓷閥。同樣我們也可提供多種不同的通訊方式，包括模擬式、數(shù)字式、DeviceNet?，以及PROFIBUS?，RS485，cc-link，(取決于產(chǎn)品型號(hào))。我們產(chǎn)品的流量范圍可覆蓋微量流量直至更大流量。 HORIBA STEC質(zhì)量流量控制器是一種計(jì)測(cè)和控制流體流量的裝置。流體的流量計(jì)測(cè)通常可分為體積流量和質(zhì)量流量。體積流量由于受到計(jì)測(cè)時(shí)環(huán)境溫度和壓力的影響，如需要準(zhǔn)確測(cè)定時(shí)，必須對(duì)溫度和壓力進(jìn)行調(diào)整。而質(zhì)量流量計(jì)在測(cè)定流體質(zhì)量的時(shí)候，不容易受到環(huán)境溫度和壓力等外在因素的影響而能準(zhǔn)確地進(jìn)行流體測(cè)量。在必須對(duì)流量進(jìn)行精確計(jì)測(cè)和控制的領(lǐng)域，質(zhì)量流量控制器被廣泛的使用，例如半導(dǎo)體工業(yè)、太陽(yáng)能光電工業(yè)和微電子加工制造業(yè)等 *1 Devicenet是一種通訊方式的標(biāo)志。 *2 PROFIBUS是一種國(guó)際化的通訊方式標(biāo)志。提供多氣體，多量程的解決方案，是銷(xiāo)量很多的氣體質(zhì)量流量控制器。高精度，快速響應(yīng)，輕巧的尺寸。全金屬密封，橡膠密封適用于廣泛范圍的流量控制：在同一系列中，適于從0.2SCCM到500SLM(N2)的流量控制適用于廣泛的用途：在普通產(chǎn)業(yè)市場(chǎng)中，擁有眾多的銷(xiāo)售業(yè)績(jī)，低成本：產(chǎn)品系列中有力求具有成本優(yōu)勢(shì)的型號(hào)：SEC-E40MK3/E50MK3 SEC-E60 用于寬廣范圍的流量控制，其控制范圍可以從0.2 SCCM到1000 SLM（以N2為標(biāo)準(zhǔn)）應(yīng)用領(lǐng)域化工/石化/石油/天然氣　　生物反應(yīng)/生命科學(xué) 　　食品飲料 LED FPD 　　冶金　　電力能源及水處理　　造紙　　環(huán)境保護(hù)及控制　　汽車(chē) 　　半導(dǎo)體/光伏　　微電子 EPC及系統(tǒng)集成商

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王先生

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