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深圳京都玉崎株式會社

檢測認(rèn)證人脈交流通訊錄

LASERTEC 掩模缺陷檢測儀 MATRICS X8ULTRA系列

  • 這真不是您需要的產(chǎn)品？
  • 品　　牌：
  • LASERTEC
  • 主要規(guī)格：
  • デザインノード7nm～5nmのEUVマスクおよびフォトマスクに対応できる半導(dǎo)體マスク検査システム ピクセルサイズ45nm、ハイパワー213nmQCWレーザー（>400mW）、および2種類の偏光照明により、高感度化を達(dá)成
  • 用　　途：
  • ウェハファブにおけるEUVマスクおよびフォトマスクの受入検査、定期的な品質(zhì)確認(rèn)検査 EUVマスクおよびフォトマスクの製造工程における出荷前検査
    • 特長 デザインノード7nm～5nmのEUVマスクおよびフォトマスクに対応できる半導(dǎo)體マスク検査システム ピクセルサイズ45nm、ハイパワー213nmQCWレーザー（>400mW）、および2種類の偏光照明により、高感度化を達(dá)成 初期狀態(tài)のマスクパターンの全畫像を保存し、ウェハ露光後のマスクパターンと比較して、マスク上の異物を検出するマスクtoマスク比較検査機(jī)能（MtM機(jī)能）を搭載 マスクのパターン寸法分布（CD uniformity）をマスク検査と同時に計測し、可視化する機(jī)能を搭載 EUVマスク用のDual Pod、フォトマスク用のRSP150、RSP200に対応可能 OHT（Overhead Hoist Transport）と連動した全自動検査が可能 ステージ系と電気ラック系を一體化した設(shè)計により、コンパクトなフットプリントを達(dá)成 用途 ウェハファブにおけるEUVマスクおよびフォトマスクの受入検査、定期的な品質(zhì)確認(rèn)検査 EUVマスクおよびフォトマスクの製造工程における出荷前検査 仕様 検査方式 マルチダイモード、シングルダイモード、MtMモード 検査スキャン時間 50分/100mmx100mmエリア 対応マスク EUV用マルチレイヤー、Cr、MoSi、OMOG マスクサイズ 6インチ

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