檢測(cè)認(rèn)證人脈交流通訊錄
LASERTEC 膜厚不均勻檢查裝置 MR300
- 特長(zhǎng) 高解像光學(xué)系により、イメージセンサの品質(zhì)を左右する微小な表面形狀変化を検出可能 下地の影響を受けにくいため、表面層の情報(bào)を正確に取得可能 In Line における全數(shù)検査が可能 用途 レジスト、カラーフィルタおよび各種デポ膜の膜厚不均一性検査 マイクロレンズの形狀変化検査 裏面照射型CMOSイメージセンサの裏面薄化プロセスにおける表面形狀検査 微小欠陥、異物、スクラッチ等の検査 仕様 対応基板サイズ φ200mm、300mm ウェハ 解像度 50μｍ/pixel スループット 70WPH（300mmウェハ）
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