工具顯微鏡采用通用L2-50落射照明器，亮視場(chǎng)、大視野無(wú)閃爍正像，如明場(chǎng)、暗場(chǎng)、簡(jiǎn)易偏光、DIC微分干涉落射熒光。工作臺(tái)鑄鐵采用天然失效處理，工作臺(tái)配有快速釋放機(jī)構(gòu)，方便X/Y傳動(dòng)，單手即可實(shí)現(xiàn)快速移動(dòng)工作臺(tái)。

    廣泛應(yīng)用半導(dǎo)體封裝、焊接貼片、環(huán)路高度、FPD面板（LCM）、MEMS、晶片級(jí)CSP、硬盤滑行磁頭等產(chǎn)品領(lǐng)域。

    儀器型號(hào)：QI-U2010         QI-U3020

    測(cè)量行程：200*100mm     300*200mm

    分辨率：0.001mm

    測(cè)量精度：（ 2+L/200）μm,L無(wú)負(fù)載測(cè)量長(zhǎng)度（mm）

    三目鏡頭10X  四孔物鏡轉(zhuǎn)換器含50X超長(zhǎng)距離物鏡

    放大倍率：光學(xué)500X

    外觀尺寸：1000*600*1400mm      1200*720*1600mm

    儀器重量：100Kg     120Kg

    影像分析系統(tǒng)： 日本W(wǎng)ATEC 1/2″彩色CCD ，M2D-AT測(cè)量軟體，可選配3D軟體

    工作電腦一套（獨(dú)顯卡）