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- 亞納米級壓電促動器 昊量供 上海亞納米級壓電促動器 壓電促動器（亞納米級） 高分辨率！亞納米級壓電促動器！ AU-DPT、AU-MTP和AU-NPS-Z系列為高分辨率的直線壓電陶瓷促動器。在126mm的行程中可達到亞納米分辨率，并且擁有極高的線性度和近乎完美的重復(fù)性。該系列壓電陶瓷促動器無摩擦，已加載預(yù)緊力，彌補了疊堆式壓電陶瓷不能承受拉力的不足的同時可提供較大的推力，在120mm的行程中可推力可達到600N。 壓電促動器、疊堆壓電陶瓷促動器、帶預(yù)緊陶瓷堆疊式壓電促動器、柔性機構(gòu)促動器、Nanopositioning Actuator/Translator 壓電促動器采用以加預(yù)載力的堆疊式壓電陶瓷，在提供較大推力的同時還可以承受一定的壓力，彌補了堆疊式壓電陶瓷不能承受壓力的不足。上海昊量光電設(shè)備有限公司推出的壓電促動器擁有極高的分辨率，在126mm的行程中可達到亞納米分辨率，并且擁有極高的線性度和近乎完美的重復(fù)性。 上海昊量光電設(shè)備有限公司推出的壓電陶瓷促動器主要包含以下幾類： ①閉環(huán)高精度壓電陶瓷促動器 閉環(huán)壓電促動器主要包括AU-DPT-D、AU-DPT-E、AU-NPS-Z-15B和AU-NPS-Z-15L這幾款產(chǎn)品。 AU-DPT-D是一款內(nèi)置電容反饋系統(tǒng)的壓電促動器，使其擁有亞納米的分辨率，并且擁有極高的線性度和近乎完美的重復(fù)性，極低的蠕變特性和遲滯性。AU-DPT-D可提供30/50/70/110mm四種不同的閉環(huán)行程，材質(zhì)為不脹鋼（0.35nm/K CTE）具有很好的熱穩(wěn)定性。內(nèi)置預(yù)載力的堆疊式壓電陶瓷，在整個行程中可提供高達60kg的移動質(zhì)量，并且有較低的電子噪聲和高的線性度。此外還提供超高真空版本，工作壓強范圍可從10 -3 到 10 -10 Torr。 AU-DPT-E是AU-DPT-C的升級產(chǎn)品，可提供20/50/110mm三種不同行程的版本，與AU-DPT-D性能相似但其擁有更小的直徑。同時AU-DPT-E系列也提供超高真空版本，工作壓強范圍可從10 -3 到10 -9 Torr。 AU-NPS-15L是高荷載大推力的壓電陶瓷促動器。該促動器內(nèi)置電容位移傳感器，在全15mm行程中分辨率可達到亞納米級別，遲滯性<0.02%，直線誤差為<0.01%。采用不脹鋼材質(zhì)及特殊的設(shè)計，具有極低的熱漂移和高的剛度，因此具有極高的穩(wěn)定性和高的負載，其大負載可達到15kg。采用獨特的優(yōu)化機械設(shè)計，空載自振頻率可到達8000Hz。 NPS-Z-15L Ultra High Load Closed Loop 15 Micron Actuator ②開環(huán)壓電陶瓷促動器 開環(huán)壓電促動器主要包括AU-MPT系列，該壓電促動器為有預(yù)載力的壓電陶瓷，不但可以提供較大的推力還可以承受一定的拉力。AU-MTP系列促動器可提供15/30/45/75/105mm五種不同行程設(shè)備。采用不銹鋼材質(zhì)以及極高剛度的設(shè)計，這一特點使其促動器在Z軸方向大加載可達到10kg。如果需要閉環(huán)系統(tǒng)，AU-MTP系列促動器可以和位置檢測系統(tǒng)結(jié)合使用，提供亞納米的分辨率。 MTP 15/30/45/75/105 ③閉環(huán)柔性機構(gòu)促動器 AU-NPS-15B是內(nèi)置電容位移傳感器的具有柔性機構(gòu)的壓電促動器。柔性鉸鏈導向機構(gòu)可以去除側(cè)向力，一定程度上避免了側(cè)向力對促動器的損害。采用不脹鋼材質(zhì)，擁有好的的熱穩(wěn)定性。該促動器擁有極高的分辨率在15mm的行程中分辨率可達到亞納米級別。內(nèi)置位移傳感器可減少遲滯性、非線性和蠕變性。該產(chǎn)品常規(guī)的遲滯性<0.005%,直線性誤差<0.01%。空載自振頻率可達到2400Hz，擁有極快的響應(yīng)速度。 NPS-Z-15B Flexure Guided 15 Micron Actuator u 主要特點 l 多種外徑尺寸可供選擇 l 亞納米分辨率 l 加載預(yù)載力可動態(tài)使用 l 可提供超高真空、硬輻射、低溫非磁性和高溫版本 l 低的遲滯、蠕變性 l 無摩擦 l 柔性機構(gòu)導向 l 低噪聲、高線度 l 亞納米重復(fù)性 u 主要應(yīng)用 干涉度量學、光束校準、空腔調(diào)諧、計量學、顯微操作、制作納米位移設(shè)備、度量學等。 具體詳情請聯(lián)系昊量02151083793
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