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美國(guó)Laurell勻膠機(jī)spin coater
- 主要規(guī)格:
- WS-400(WS-500)
- 原裝進(jìn)口勻膠機(jī) WS-400(WS-500)
原裝進(jìn)口勻膠機(jī)旋轉(zhuǎn)涂敷儀 WS-400(WS-500)
全自動(dòng)美國(guó)產(chǎn)旋涂?jī)x
全自動(dòng)美國(guó)產(chǎn)高精度旋轉(zhuǎn)涂敷儀
旋轉(zhuǎn)涂敷儀(Spin Coater),有許多名稱:甩膠機(jī)、涂膠機(jī)、勻膠機(jī)、涂層機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂膠機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂層機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂布機(jī)、旋轉(zhuǎn)薄膜機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂膜儀等,主要應(yīng)用于溶膠凝膠(Sol-Gel)實(shí)驗(yàn)中的薄膜制作,其工作原理是高速旋轉(zhuǎn)基片,利用離心力使滴在基片上的膠液均勻的涂在基片上,厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數(shù)而不同,也和旋轉(zhuǎn)速度及時(shí)間有關(guān)。
適用于半導(dǎo)體、硅片、晶片、基片、導(dǎo)電玻璃及制版等表面涂覆工藝,可在工礦企業(yè)、科研、教育等單位作生產(chǎn)、科研、教學(xué)之用。
Laurell,Inc總部位于美國(guó)賓夕法尼亞,成立于1985年,是一家專業(yè)提供化工半導(dǎo)體材料清潔涂敷處理等特殊工藝的公司。公司擁有WS-400/500/650各類旋轉(zhuǎn)涂敷
系統(tǒng),目前客戶已遍布全球。
特色:
◆ 科研制備理想的旋涂?jī)x;
◆ NPP或Teflon材質(zhì)構(gòu)造;
◆ 150毫米,200毫米和300毫米三種腔體大??;
◆ 可選擇臺(tái)式,立式和特殊環(huán)境內(nèi)置式不同外形;
◆ 最大轉(zhuǎn)速可達(dá)10000RPM;
◆ 易編程的數(shù)碼控制器(400/500型控制器);
◆ 可升級(jí)成為自動(dòng)滴膠型;
請(qǐng)根據(jù)您實(shí)際需要的大小和材質(zhì)選擇相應(yīng)的旋涂?jī)x型號(hào):
WS-400B-6NPP-LITE
◆NPP材質(zhì)臺(tái)式
◆8.5英寸 (216 毫米) 直徑 桶狀處理腔
◆可以涂敷最大直徑為6英寸 (150 毫米)或4英寸 X 4英寸 (102 X 102 毫米)的方形基底材料
◆理想的旋轉(zhuǎn)涂敷儀
◆銷量最好的臺(tái)式系統(tǒng)
WS-400B-6NPP-LITE-IND
◆NPP材質(zhì)內(nèi)置式帶遠(yuǎn)程控制器
◆8.5英寸 (216 毫米) 直徑 桶狀處理腔
◆可以涂敷最大直徑為6英寸 (150 毫米)或4英寸 X 4英寸 (102 X 102 毫米)的方形基底材料
WS-400B-6NPP-LITE-OND
◆NPP材質(zhì)外置式帶遠(yuǎn)程控制器
◆8.5英寸 (216 毫米) 直徑 桶狀處理腔
◆可以涂敷最大直徑為6英寸 (150 毫米)或4英寸 X 4英寸 (102 X 102 毫米)的方形基底材料
WS-400B-8NPP-LITE
◆NPP材質(zhì)臺(tái)式
◆12.5英寸 (318 毫米) 直徑 桶狀處理腔
◆可以涂敷最大直徑為8英寸 (200 毫米)或7英寸 X 7英寸 (178 X 178 毫米) 的方形基底材料
WS-400B-8NPP-LITE-IND
◆NPP材質(zhì)內(nèi)置式帶遠(yuǎn)程控制器
◆12.5英寸 (318 毫米) 直徑 桶狀處理腔
◆可以涂敷最大直徑為8英寸 (200 毫米)或7英寸 X 7英寸 (178 X 178 毫米) 的方形基底材料
◆銷量最好的wet-bench型系統(tǒng)
WS-400B-8NPP-LITE-OND
◆NPP材質(zhì)外置式帶遠(yuǎn)程控制器
◆12.5英寸 (318 毫米) 直徑 桶狀處理腔
◆可以涂敷最大直徑為8英寸 (200 毫米)或7英寸 X 7英寸 (178 X 178 毫米) 的方形基底材料
WS-400B-6TFM-LITE
◆PTFE 材質(zhì)臺(tái)式
◆固態(tài)PTFE-TFM Teflon-NXT廬 PTFE Hostaflon-TFM廬(接近零孔隙度)玻璃
◆8.5英寸 (216 毫米) 直徑 桶狀處理腔
◆可以涂敷最大直徑為6英寸 (150 毫米)或4英寸 X 4英寸 (102 X 102 毫米)的方形基底材料
WS-400B-6TFM-LITE-IND
◆PTFE材質(zhì)內(nèi)置式帶遠(yuǎn)程控制器
◆固態(tài)PTFE-TFM Teflon-NXT廬 PTFE Hostaflon-TFM廬(接近零孔隙度)玻璃
◆8.5英寸 (216 毫米) 直徑 桶狀處理腔
◆可以涂敷最大直徑為6英寸 (150 毫米)或4英寸 X 4英寸 (102 X 102 毫米)的方形基底材料
WS-400B-6TFM-LITE-OND
◆PTFE材質(zhì)外置式帶遠(yuǎn)程控制器
◆固態(tài)PTFE-TFM Teflon-NXT廬 PTFE Hostaflon-TFM廬(接近零孔隙度) 玻璃
◆8.5英寸 (216 毫米) 直徑 桶狀處理腔
◆可以涂敷最大直徑為6英寸 (150 毫米)或4英寸 X 4英寸 (102 X 102 毫米)的方形基底材料
WS-400B-8TFM-LITE
◆PTFE材質(zhì)臺(tái)式
◆固態(tài)PTFE-TFM Teflon-NXT廬 PTFE Hostaflon-TFM廬(接近零孔隙度)玻璃
◆12.5英寸 (318 毫米) 直徑 桶狀處理腔
◆可以涂敷最大直徑為8英寸 (200 毫米)或7英寸 X 7英寸 (178 X 178 毫米) 的方形基底材料
WS-400B-8TFM-LITE-IND
◆PTFE材質(zhì)內(nèi)置式帶遠(yuǎn)程控制器
◆固態(tài)PTFE-TFM Teflon-NXT廬 PTFE Hostaflon-TFM廬(接近零孔隙度)玻璃
◆12.5英寸 (318 毫米) 直徑 桶狀處理腔
◆可以涂敷最大直徑為8英寸 (200 毫米)或7英寸 X 7英寸 (178 X 178 毫米) 的方形基底材料
WS-400B-8TFM-LITE-OND
◆PTFE材質(zhì)外置式帶遠(yuǎn)程控制器
◆固態(tài)PTFE-TFM Teflon-NXT廬 PTFE Hostaflon-TFM廬(接近零孔隙度)玻璃
◆12.5英寸 (318 毫米) 直徑 桶狀處理腔
◆可以涂敷最大直徑為8英寸 (200 毫米)或7英寸 X 7英寸 (178 X 178 毫米) 的方形基底材料
WS-400-15NPP-LITE
◆NPP材質(zhì)臺(tái)式
◆直徑為14.5英寸 (370 毫米)半圓形處理腔
◆可以涂敷最大直徑為13英寸 (330 毫米)的基底材料
◆我們提供的最大NPP系統(tǒng)
WS-400-15NPP-LITE-IND
◆NPP材質(zhì)內(nèi)置式帶遠(yuǎn)程控制器
◆直徑為14.5英寸 (370 毫米)半圓形處理腔
◆可以涂敷最大直徑為13英寸 (330 毫米)的基底材料
◆我們提供的最大NPP系統(tǒng)
WS-400-15NPP-LITE-OND
◆NPP材質(zhì)外置式帶遠(yuǎn)程控制器
◆直徑為14.5英寸 (370 毫米)半圓形處理腔
◆可以涂敷最大直徑為13英寸 (330 毫米)的基底材料
◆我們提供的最大NPP系統(tǒng)
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高精度數(shù)控勻膠機(jī) MS400/MS500/MS650
適合半導(dǎo)體硅片,晶片,化學(xué)化工基片,導(dǎo)電玻璃等工藝,制版的表面涂覆
旋涂樣片直徑最小可到3毫米,最大可達(dá)330毫米。
高精度數(shù)碼控制器:
可設(shè)定存儲(chǔ)20個(gè)不同樣片的旋涂程序段;
每個(gè)程序段可以設(shè)置51步不同的速度狀態(tài);
隨意任意時(shí)間范圍的加減速,可重復(fù)性達(dá)到+/-0.5RPM,分辨率小于0.5RPM;
液晶顯示屏可以實(shí)時(shí)讀取任意速度狀態(tài)
超準(zhǔn)的速度控制:
我們的數(shù)碼速度控制器采用的是一個(gè)高計(jì)數(shù)位的光學(xué)編碼器輸入至伺服馬達(dá)控制器,其設(shè)置點(diǎn)精度小于0.006%(遵照美國(guó)NIST激光測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)),無(wú)需校準(zhǔn);
20個(gè)51步程序段或者手動(dòng)模式,非常方便設(shè)定速度和加速度程序段, 1~10000RPM的穩(wěn)定轉(zhuǎn)速可以隨意設(shè)定!
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邁可諾技術(shù)有限公司
葉盛
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