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檢測行業(yè)中觀察樣品形貌一般用光學(xué)顯微鏡和電子顯微鏡（SEM），其中光學(xué)顯微鏡的優(yōu)勢(shì)在于操作簡單、能直觀看到待測位置的形貌、顏色等。在宏觀形貌觀察領(lǐng)域，光學(xué)顯微鏡（SEM）有著不可替代的優(yōu)勢(shì)，但在微觀形貌觀察時(shí)，光學(xué)顯微鏡則由于景深小而造成很多局限。比如樣品觀察面需要非常平整，否則觀察不到或者拍攝出的圖片質(zhì)量差，此時(shí)樣品需要制樣磨平，但這樣就破壞了樣品原本的表面形貌。這種時(shí)候就需要電子顯微鏡（SEM）來彌補(bǔ)這一缺陷。和傳統(tǒng)光學(xué)顯微鏡相比，掃描電鏡（SEM）具有以下特點(diǎn)： 1、能夠直接觀察樣品表面的結(jié)構(gòu)，樣品的尺寸可大至120mm×80mm×50mm。 2、樣品制備過程簡單，不用切成薄片。 3、樣品可以在樣品室中作三維空間的平移和旋轉(zhuǎn)，因此，可以從各種角度對(duì)樣品進(jìn)行觀察。 4、景深大，圖象富有立體感。掃描電鏡（SEM）的景深較光學(xué)顯微鏡大幾百倍。 5、圖象的放大范圍廣，分辨率也比較高?？煞糯笫畮妆兜綆资f倍，圖像分辨率可達(dá)3nm。 6、電子束對(duì)樣品的損傷與污染程度較小。 7、在觀察形貌的同時(shí)，還可利用從樣品發(fā)出的其他信號(hào)作微區(qū)成分分析。掃描電子顯微鏡（SEM）是觀察微觀形貌的最有力工具，目前已廣泛應(yīng)用于材料、生物、環(huán)境等領(lǐng)域。

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溫靈丹

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