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俄歇電子能譜 (AES, Auger)
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對(duì)應(yīng)法規(guī)：GB，ISO，ASTM
CNAS認(rèn)可項(xiàng)目：是 - 俄歇電子能譜(AES、Auger)是一種利用高能電子束為激發(fā)源的表面分析技術(shù). AES分析區(qū)域受激原子發(fā)射出具有元素特征的俄歇電子。 AES電子束可以?huà)呙枰粔K或大或小的表面. 它也可以直接聚焦在小塊表面形貌上（半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)經(jīng)常要求這樣）。聚焦電子束斑到10nm或更小的直徑使得AES成為小表面形貌元素分析的非常有用的工具。此外，它能夠在可調(diào)整的表面區(qū)域內(nèi)柵蔽電子束從而控制分析區(qū)域的尺寸。 當(dāng)用來(lái)與濺射離子源的結(jié)合時(shí), AES能勝任大、小面積的深度剖面。 當(dāng)與聚焦離子束(FIB)一起使用時(shí),它對(duì)于截面分析是很有用的。 歡迎來(lái)電咨詢(xún)。 咨詢(xún)電話(huà)：189 2932 2016；聯(lián)系QQ：254755933;
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