SEMI S10 -風(fēng)險評估的準(zhǔn)則

SEMI S10-0815E SAFETY GUIDELINE FOR RISK ASSESSMENT AND RISK EVALUATION PROCESS  

1.風(fēng)險評估的目的

• 通過風(fēng)險評估鑒別危害。 SEMI S10提供了對半導(dǎo)體設(shè)備及泛半導(dǎo)體行業(yè)設(shè)備進(jìn)行風(fēng)險評估的架構(gòu)，風(fēng)險評估的結(jié)果提供給預(yù)期使用者，作為EHS的參考。
• 使用這個安全基準(zhǔn)進(jìn)行風(fēng)險評估，目的是為了提出對策來控制風(fēng)險。

2.風(fēng)險評估的方法

   風(fēng)險評估技術(shù)有許多種方法，如風(fēng)險矩陣法，故障樹分析（FTA）的，事件樹分析（ETA），危險和可操作性研究（HAZOP）和故障模式效應(yīng)分析（FMEA） 。運用不同的風(fēng)險評估技術(shù)都可以從中識別設(shè)備中存在的風(fēng)險，并根據(jù)這些風(fēng)險來控制風(fēng)險。

3.風(fēng)險評估的程序

風(fēng)險評估，應(yīng)在設(shè)備正在評估階段執(zhí)行以確定和評估潛在的危險。風(fēng)險評估應(yīng)在初期設(shè)計和更新階段就開始，至設(shè)計完成。

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