SEMI E78-0912 GUIDE TO ASSESS AND CONTROL ELECTROSTATIC DISCHARGE (ESD) AND ELECTROSTATIC ATTRACTION (ESA) FOR EQUIPMENT

1. 靜電產(chǎn)生的主要原因

• 接觸分離
• 摩擦起電
• 感應起電

2. 靜電的危害

    靜電具有一定的隱秘性、積累性、復雜性和隨機性，當靜電現(xiàn)象發(fā)生時，靜電會在半導體設備和器件中隱藏存在，隨著工作時間的延長、工作量的增多，靜電量會越積越多，進而加劇灰塵的依附性，長久以往，會降低設備的使用壽命。靜電放電后，會對器件產(chǎn)生強烈的電攻擊，被電擊后的器件如果不進行及時的修復，可能導致器件的永久傷害。

    半導體制造工廠，存在易燃化學品，靜電放電后，會導致靜電作為起火源，引起化學品的燃燒甚至爆炸發(fā)生。

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