儀器名稱

型號(hào)

X射線光電子能譜（XPS）

--賽默飛 K-Alpha

主要技術(shù)參數(shù)

·         1、分析器：180°雙聚集半球分析器；128通道檢測(cè)器
2、X射線單色器可選擇30 μm至400 μm大小的分析區(qū)域，步長(zhǎng) 5 μm
3、離子槍：能量范圍100至4000 eV
4、四軸樣品臺(tái)：60 x60毫米樣品區(qū)域；最大樣品厚度20毫米

應(yīng)用范圍

元素的定性、定量分析；元素價(jià)態(tài)鑒定；固體表面組成、化學(xué)狀態(tài)分析；化合物結(jié)構(gòu)分析；富集法微量元素分析；分子生物化學(xué)等。

儀器特點(diǎn)

1、 X射線單色器可用于化學(xué)態(tài)高分辨分析

2、 微聚焦X射線探針可用于絕緣材料的分析

3、 先進(jìn)的光學(xué)觀察系統(tǒng)可用于對(duì)中樣品上微小結(jié)構(gòu)和污染點(diǎn)分析位置

4、 聚焦深度剖析離子源可用于單層和多層膜分析

5、 一鍵式中和系統(tǒng)可用于精確的小面積分析

6、 128通道探測(cè)器用于快速并行快照式采集數(shù)據(jù)