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薄膜表面測試_薄膜特性檢測
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對應法規(guī)：wu
CNAS認可項目：否

薄膜表面測試_薄膜特性檢測

背景介紹：材料表面及其涂層在創(chuàng)新產(chǎn)品中發(fā)揮著越來越重要的作用。產(chǎn)品表面 1 納米厚度范圍的結構和化學成分可能影響和決定產(chǎn)品功能，所以您需要了解薄膜表面的精確結構以確保獲得期望的功能。劑拓科技提供專業(yè)的分析和成像技術，助您分析薄膜類產(chǎn)品。包括薄膜成分檢測、薄膜表面分析及薄膜產(chǎn)品剖析檢測服務。

薄膜成分檢測：針對薄膜表面成分分析主要的測試方法：

方法	X射線電子能譜(XPS)	俄歇電子能譜 (AES)	X射線熒光光譜(XRF)	X射線能譜 (EDS)
方法概述	表面成分的超微量和痕量檢測方法。	進行成分的深度剖析、薄膜及界面分析。	固體、液體、粉末測試。	對材料微區(qū)進行元素種類與含量測定，配合掃描電鏡使用。
檢測靈敏度	10^-2-10^-3	10^-2-10^-3	>10^-2	>10^-2
應用特點	無損檢測，可作為定量分析	可分析H\He以外的所有元素，對樣品表面要求較高，可作為定量分析。	測試Z=0-80的所有元素，含量ppm級-100%。同時可以測量外延層晶格參數(shù)。	只能測Z>11的元素,準確性較低

薄膜表面分析：針對薄膜表面形貌主要的測試方法：

測試方法	適用條件
掃描電子顯微鏡（SEM）/場發(fā)射掃描電子顯微鏡	薄膜表面斷面形貌分析, 填料分散狀態(tài)復合材料結構, 材料晶型分析晶粒大小,材料物相分析。結合EDS進行元素定性分析。
透射電鏡（TEM）	透射電鏡可以表征樣品的質厚襯度，也可以表征樣品的內(nèi)部晶格結構，獲得高倍放大倍數(shù)的電子圖像；得到電子衍射花樣。
掃描隧道顯微鏡（STM）	掃描隧道顯微鏡作為一種掃描探針顯微術工具，掃描隧道顯微鏡可以讓科學家觀察和定位單個原子，它具有比它的同類原子力顯微鏡更加高的分辨率。此外，掃描隧道顯微鏡在低溫下（4K）可以利用探針尖端
原子力顯微鏡（AFM）	AFM提供真正的三維表面圖，AFM不需要對樣品的任何特殊處理。