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中國(guó)科學(xué)院廣州化學(xué)研究所分析測(cè)試中心--李工--13603044558 掃描電子顯微鏡，又名SEM，掃描電鏡，是一種在真空下用電子束掃描樣品表面，逐點(diǎn)激發(fā)二次電子信號(hào)，根據(jù)信號(hào)強(qiáng)度組成形貌照片，做高倍率的表面外觀(guān)形貌觀(guān)察的儀器，檢測(cè)流程包括制樣、上機(jī)觀(guān)察拍照，最后提供外觀(guān)形貌照片等數(shù)據(jù)。在半導(dǎo)體器件的失效分析中，可用二次電子像來(lái)觀(guān)察芯片表面金屬引線(xiàn)的短路、開(kāi)路、電遷移、氧化層的針孔和受腐蝕的情況，還可用來(lái)觀(guān)察硅片的層錯(cuò)、位錯(cuò)和拋光情況及作為圖形線(xiàn)條的尺寸測(cè)量等。 EDS能譜儀，又名顯微電子探針，是一種分析物質(zhì)元素的儀器，常與掃描電鏡或者透射電鏡聯(lián)用，在真空室下用電子束轟擊樣品表面，激發(fā)物質(zhì)發(fā)射出特征x射線(xiàn)，根據(jù)特征x射線(xiàn)的波長(zhǎng)，定性與半定量分析元素周期表中Be以上的物質(zhì)元素，檢測(cè)流程包括電鏡樣品制備，上機(jī)操作分析，最后提供成份分析譜圖與半定量成份組成比等數(shù)據(jù)。能譜儀除了分析速度快，可做定量計(jì)算外，還可以選擇不同的方式進(jìn)行分析，即可選點(diǎn)、線(xiàn)及區(qū)域進(jìn)行分析，還可做不同元素的面分布圖（mapping）。主要用途： 1、外觀(guān)形貌觀(guān)察，放大1000倍到30萬(wàn)倍率，尺寸測(cè)量等； 2、選定微小位置區(qū)域，探測(cè)元素成份與含量；3、是失效分析當(dāng)中對(duì)于微小痕量金屬物質(zhì)檢測(cè)的最重要的檢測(cè)手段。即可選點(diǎn)、線(xiàn)及區(qū)域進(jìn)行分析，還可做不同元素的面分布圖。

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