檢測認(rèn)證人脈交流通訊錄
技術(shù)指標(biāo):1.熱場發(fā)射肖特基源 2.電子束能:20 eV-30 keV之間可調(diào) 3.最小束斑 2nm 4.最小特征尺寸 <= 10 nm 5.拼接精度 <= 35 nm 6. 套刻精度 <= 35 nm 7. 最小光柵周期 <= 40 nm 8. 最大晶片尺寸100 mm 9. 束斑形狀 高斯圓形束 10. 束路徑是無cross-over的模式,可獲得極高束流密度 11. 電子束電流 5pA-20nA
儀器用途:應(yīng)用于低溫電子器件、光電子器件、量子結(jié)構(gòu)、輸運機制、微機電系統(tǒng)(MEMS)等領(lǐng)域
收費標(biāo)準(zhǔn):800元/小時,包括光刻膠費用
機組負(fù)責(zé)人:張志強 0512-69588058 15250478263 zhangzq@sibet.ac.cn


