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FB7008型輔助增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)

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    • 本實(shí)驗(yàn)裝置主要由真空系統(tǒng)、微波激勵(lì)系統(tǒng)、供氣系統(tǒng)、基片溫控加熱系統(tǒng)以及循環(huán)水冷卻系統(tǒng)等組成。微波源產(chǎn)生2.45GHz的微波，沿著波導(dǎo)管傳輸，經(jīng)環(huán)行器、四釘阻抗調(diào)配器等裝置，到達(dá)諧振腔反應(yīng)室，氣體在微波的激勵(lì)下，獲得很大的能量，在反應(yīng)室的工作平臺(tái)處，形成球狀的等離子體。本裝置適合高校近代物理、材料物理等專業(yè)作為等離子體研究與技術(shù)應(yīng)用方面實(shí)驗(yàn)。 實(shí)驗(yàn)內(nèi)容： ●HFPCVD法在基片上制備各種功能薄膜材料； ●MWPCVD法多壁碳納米管陣列的化學(xué)氣相沉積制備； ●浮動(dòng)催化裂解法制備單壁碳納米管； ●PECVD制備一維納米結(jié)構(gòu)； ●MWP化學(xué)合成。 技術(shù)參數(shù)： ●微波源功率： 0~900W，連續(xù)可調(diào)； ●真空系統(tǒng)：機(jī)械式真空泵，交流市電 220V，抽速：2L/s極限氣壓：≤0.6Pa； ●供氣系統(tǒng)：四路獨(dú)立供氣管路，一路載氣，流量分別由轉(zhuǎn)子流量計(jì)控制； ●封閉式內(nèi)循環(huán)水冷溫度調(diào)節(jié)系統(tǒng)，連續(xù)工作系統(tǒng)溫度≤30℃ ； ●微波傳輸及微波諧振腔：配有環(huán)行器、水負(fù)載、四釘阻抗調(diào)配器，短路活塞，保證微波源安全工作。微波反射檢波測(cè)量系統(tǒng)，保證等離子體充分吸收微波的能量； ●反應(yīng)室工作氣壓：幾帕~十千帕。反應(yīng)室由石英玻璃制作：直徑φ44mm； ●基片溫度范圍：200~1050℃，用熱電偶測(cè)溫，采用PID控溫。 ●實(shí)驗(yàn)結(jié)束，將硅襯底，通過掃描電子顯微鏡（SEM）（用戶自備）觀察襯底表面可以發(fā)現(xiàn)網(wǎng)格狀的BN納米棒。

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