檢測(cè)認(rèn)證人脈交流通訊錄
- ETD-2000C型在ETD-2000型基礎(chǔ)上,增加了蒸碳附件。適用于分析型掃描電鏡對(duì)于不同分析需要的導(dǎo)電膜層制備。
配置參數(shù)如下:
儀器尺寸 : 400mm×300mm×400mm(L×W×H)
真空樣品室: 硼硅酸鹽玻璃 160mm×110mm(D×H)
靶(上部電極): 50mm×0.1mm(D×H)
樣品臺(tái): 50mm(D) ,自動(dòng)旋轉(zhuǎn)。
操作真空: 4×10-1mbar至2×10-2mbar
微型真空氣閥: 可連接φ3mm軟管
可通入氣體: 多種
工作電壓: 0-1600V (DC)可調(diào)
濺射電流: 0-50mA
濺射定時(shí): 1-9999S
蒸碳電流 0-10A(AC)
真空泵: 4L/S兩級(jí)機(jī)械旋轉(zhuǎn)泵(極限真空2×10-2mbar)
樣品表面離子清潔(選配)
北京辦公室
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