微機電氣體質(zhì)量流量計采用微機電系統(tǒng)（MEMS）流量傳感芯片技術和計算機自適應技術，歷經(jīng)多年開發(fā)的
智能化全電子式氣體質(zhì)量流量儀表。主要技術性能處于國際領先水平，具有高靈敏度、高精度、大量程比（100：1）等特點；適用于測量空氣、氨氣、氧氣、氬氣、二氧化碳、氫氣等介質(zhì)。
針對工業(yè)環(huán)境，微機電氣體質(zhì)量流量計融合了多種抗干擾措施的電磁兼容設計，且具有多種信號輸出，能通過通訊接口實現(xiàn)網(wǎng)絡管理功能；本產(chǎn)品在性能、安裝、維護方面也具有其獨特的優(yōu)越性，可廣泛應用于石油、燃氣、化工、冶煉、能源等各個領域。
本系列流量計執(zhí)行標準為：Q/77453766-1.1-2006。參照執(zhí)行標準：ISO14511；GB/T20727-2006。

產(chǎn)品特點
采用微機電系統(tǒng)芯片加工技術和大規(guī)模集成電路的生產(chǎn)技術及材料加工技術，傳感器的尺寸縮小到微米量級，使流量計的靈敏度大大提高。在單個芯片上實現(xiàn)了多傳感器集成，使流量計的量程比（范圍度）大大提高。結(jié)合二次儀表的微電腦智能技術，使流量計重復性更好，實現(xiàn)了計量準確可靠。技術進步帶來的結(jié)構簡化，使流量較之傳統(tǒng)的機械式儀表，壓力損失大幅度減小，極大地降低了能源消耗。采用LCD顯示瞬時流量和累計流量，清晰直觀，讀書方便。產(chǎn)品融合了電磁兼容設計技術，具有高抗干擾能力。本流量計帶有RS485通訊模塊，配合上位計算機網(wǎng)絡可實現(xiàn)集中管理。可以選配4-20mA標準電流信號輸出。通過國家防爆認證，標志為Ex ia ⅡC T4，可用于易燃易爆氣體

工作原理
微機電系統(tǒng)（MEMS）芯片傳感技術，是在硅芯片上集成了具有機械和電子特性
的微米級傳感器。它并不是簡單地將機械和電子功能微縮在芯片上，而是采用了現(xiàn)代
材料制作技術與大規(guī)模集成電路技術相結(jié)合獲得新的機電特性。微機電系統(tǒng)芯片可實
現(xiàn)某些宏觀機電器件所不能達到的功效。
    MF系列質(zhì)量流量計采用了本公司生產(chǎn)的熱質(zhì)量氣體流量傳感芯片，屬于質(zhì)量流量
傳感方式的流量計，它是通過氣體流動產(chǎn)生的熱場變化來測量氣體流量的。由于不同
質(zhì)量的氣體對熱場的變化具有不同的影響，因而，它所測量的流量為質(zhì)量流量。
    不同于傳統(tǒng)的“熱絲”方式采用了多個熱傳感器及熱源來測量氣體的質(zhì)量流量（
風速式熱質(zhì)量流量原理），微機電系統(tǒng)芯片熱質(zhì)量流量傳感器采用了多個熱傳感器和
一個微熱源（量熱式熱質(zhì)量流量原理），大大減少了環(huán)境對測量的影響。微機電系統(tǒng)
芯片熱質(zhì)量流量傳感器的熱源十分微小，采用插入式在相對大的流場中，在無氣體流
動時，傳感器的熱源對環(huán)境無影響，不會像傳統(tǒng)的熱絲式質(zhì)量流量計那樣造成氣體的
對流。因而，微機電系統(tǒng)芯片熱質(zhì)量流量傳感器具有優(yōu)良的零點穩(wěn)定性和極短的響應
時間。
    本流量計主要由電源模塊、MEMS流量傳感芯片、信號處理模塊、A/D轉(zhuǎn)換模塊、
EEPROM存儲器、RTC實時時鐘模塊以及顯示模塊組成。

技術指標
范圍度                                                                  ＞100：1
精度                                       ±（1.0+0.15FS）%；±（1.5 +0.15FS）%
重復性                                                          ±0.5% ±0.75%
工作壓力                                     ＜2.5MPa    2.5～4.0 MPa為定制產(chǎn)品
環(huán)境溫度                                                               -10-55℃
介質(zhì)溫度                                                               -20-60℃
濕度                                                                  ＜95%RH
LCD顯示                                                總量（Nm3），流量（Nm3/h）
供電方式                                       8-24VCD；110/220VAC（適配器供選）
校準條件                  空氣、20℃；101.325KPa；可根據(jù)用戶要求進行實際介質(zhì)標定
材料/機械連接                                            不銹鋼；法蘭/NPT/BSPT
數(shù)據(jù)存儲                                                        可自動存儲數(shù)據(jù)
輸出（選項）                                               RS485；4-20mA；脈沖
用戶控制（選項）                                                    用戶界面軟件
防護等級                                                                  IP65
防爆等級                                                           Ex ia ⅡC T4