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白光干涉儀光學(xué)表面輪廓測量儀

這真不是您需要的產(chǎn)品？
品　　牌：
中圖儀器

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出廠價(jià)：
0

主要規(guī)格：

用　　途：
微納米三維形貌一鍵測量

白光干涉儀光學(xué)表面輪廓測量儀是一款用于對各種精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級測量的檢測儀器。它是以白光干涉技術(shù)為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進(jìn)行數(shù)據(jù)處理與分析，并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù)，從而實(shí)現(xiàn)器件表面形貌3D測量的光學(xué)檢測儀器。中圖儀器SuperViewW1白光干涉儀可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領(lǐng)域中。可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。產(chǎn)品功能 1）W1白光干涉儀光學(xué)表面輪廓測量儀設(shè)備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺階高、角度等輪廓尺寸測量功能； 2）測量中提供自動對焦、自動找條紋、自動調(diào)亮度等自動化輔助功能； 3）測量中提供自動拼接測量、定位自動多區(qū)域測量功能； 4）分析中提供校平、圖像修描、去噪和濾波、區(qū)域提取等四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能； 5）分析中提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能； 6）分析中同時(shí)提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能。核心指標(biāo) 1、Z向分辨率：0.1nm； 2、Z向掃描范圍：10.3mm； 3、XY水平位移臺：電動手動均可調(diào)節(jié)； 4、自動化功能：自動單區(qū)域測量、自動多區(qū)域測量、多區(qū)域定位自動搜索測量、自動拼接測量； 5、防撞保護(hù)：軟件設(shè)置防撞、硬件傳感器防撞；應(yīng)用領(lǐng)域 SuperViewW1白光干涉儀光學(xué)表面輪廓測量儀能對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析。

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羅健

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