檢測認證人脈交流通訊錄
- XP-853是將微米千分尺與高分辨率壓電致動器結(jié)合的壓電驅(qū)動微米千分尺,通過手動調(diào)節(jié)大范圍的微米尺,行程范圍為13mm, 微米尺的分辨率是1μm,再通過控制驅(qū)動電壓使壓電陶瓷相應伸長,縮短到預定位置,從而實現(xiàn)對壓電陶瓷進行高精度的細調(diào)節(jié),行程范圍可達25μm, 壓電陶瓷運動的分辨率可達亞納米量級,這個壓電微米千分尺可以對元件的進行遠距離精密定位。
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