氣體質(zhì)量流量計(jì)【簡(jiǎn)稱MFM】基于內(nèi)部補(bǔ)償型*層流壓差技術(shù)，內(nèi)置壓力和溫度傳感器，能充分補(bǔ)償因溫度和壓力引起的體積流量和質(zhì)量流量間的差異，可快速精確測(cè)量過程氣體的實(shí)時(shí)溫度、壓力、工況流量、標(biāo)況流量和累計(jì)流量五大參數(shù)。用于精確和快速測(cè)量氣體流量、泄露率檢測(cè)或作為標(biāo)準(zhǔn)表進(jìn)行量值傳遞與校準(zhǔn)等。
特征：
l 原理：層流壓差式原理
l 便捷操作：可觸屏點(diǎn)擊操作、讀取流量，或者提供上位機(jī)軟件操作。
l 核心優(yōu)勢(shì)：高精度、高重復(fù)性、快速響應(yīng)
l 寬溫度、寬壓力適用范圍：-20℃~60℃、1Mpa以內(nèi)
l 實(shí)時(shí)顯示5種過程變量
l 內(nèi)置49種氣體，，一鍵自由切換氣體，無需查找、輸入系數(shù)，并可自主編輯混合氣體
l 無需預(yù)熱時(shí)間，開機(jī)即可使用，即插即用。
產(chǎn)品規(guī)格：
l 產(chǎn)品型號(hào)：
S系列-帶觸摸屏系列流量計(jì)，可觸屏操作讀取數(shù)據(jù)，方便工況現(xiàn)場(chǎng)使用，無需電腦，像手機(jī)一樣方便。
M系列：無屏幕系列流量計(jì)，可通過上位機(jī)軟件操作、讀取數(shù)據(jù)，適用配套用戶，軟件可同時(shí)測(cè)控16臺(tái)流量計(jì)或控制器。
l 量程范圍：0.5sccm~5000slpm
性能參數(shù)：
l 精度：±1.0%RD , ± 0.5%RD
l 重復(fù)精度：±0.2%F.S.    ±0.1%F.S.
l 壓力漂移：Zero：≤±0.2%F.S./100Kpa；    Span：≤±0.2%F.S./100Kpa（基準(zhǔn)100KPa(絕壓))
l 溫度漂移：Zero：≤±0.02%F.S./℃；             Span：≤±0.02%F.S./℃（基準(zhǔn)溫度20℃）
l 工作范圍：1%~120%F.S.
l 響應(yīng)時(shí)間：≤100ms.
l 啟動(dòng)預(yù)熱時(shí)間：1s
使用條件：
l 介質(zhì)溫度：-20℃~60℃
l 環(huán)境溫度：-20℃~50℃
l 使用濕度：0%~98%（無冷凝）
l 工作壓力：0~1Mpa
l 耐壓：1.5Mpa
l 壓損：4kPa~12kPa
l 供電電壓：24V±20%
l 消耗電流：＜150mA （＜5V）
l 安裝方式：任意角度
l 接氣部材質(zhì)：SUS304，SUS316L
l 進(jìn)出口：管螺紋（內(nèi)螺紋）
l 接氣部密封材質(zhì)：橡膠圈密封：氟橡膠
通訊方式：
l 數(shù)字信號(hào)：RS485，Profibus
l 模擬信號(hào)：4-20mA，0-5V
應(yīng)用場(chǎng)景
l 配套流量校準(zhǔn)平臺(tái)的流量測(cè)量設(shè)備
l 實(shí)驗(yàn)中的氣體流量測(cè)量
l 機(jī)械動(dòng)力測(cè)試系統(tǒng)中的氣體流量測(cè)量
l 材料制備實(shí)驗(yàn)中的中的氣體流量測(cè)量
l 真空實(shí)驗(yàn)艙及真空試驗(yàn)系統(tǒng)中的氣體流量測(cè)量
l 生物反應(yīng)器實(shí)驗(yàn)裝置中的氣體流量測(cè)量
l 高精度實(shí)驗(yàn)儀器的研發(fā)和試制
l 分析測(cè)試儀器
易度智能層流壓差式氣體質(zhì)量流量計(jì)通用于工業(yè)配套、高校研究院所實(shí)驗(yàn)室等氣體流量測(cè)量。
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