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射頻磁控濺射鍍膜儀

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    •   射頻磁控濺射鍍膜儀   主要應用于配套掃描電鏡的樣品制備工作,同時可以滿足不同用戶對樣品涂層的制備要求。擁有優(yōu)秀的濺射系統(tǒng),可以更換不同的金屬靶材(金,鉑,銀,銥,鉻,銅等),實現(xiàn)高要求的細粒涂層。GVC系列為您提供優(yōu)質(zhì)的樣品制備,輕松助您取得更好地材料研究樣品, 獲得高質(zhì)量的顯微鏡觀測效果。   GVC-1000 全自動離子濺射儀(射頻磁控濺射鍍膜儀)性能參數(shù)   1、離子濺射儀工作原理:磁控濺射   2、可選靶材:金,鉑,金鈀合金,鉛,銀,銅,鉻,銻等   3、真空室:φ128×100高硅硼玻璃   4、全自動操作,簡單易用,非常適用鎢燈絲、臺式掃描電鏡等   (1)濺射電流自動調(diào)整——設(shè)定濺射電流后,系統(tǒng)自動調(diào)節(jié)真空度,從而達到設(shè)定的濺射電流,調(diào)整時間<5s,波動范圍<±5%;   (2)無需按“實驗”鍵調(diào)整濺射電流、無需操作“進氣閥”。   (3)濺射時間自動記憶——同類樣品一次設(shè)定即可;  ?。?)參數(shù)改變自動調(diào)整——濺射過程中可以隨時調(diào)整濺射電流和濺射時長,系統(tǒng)自動計算疊加,無需終止濺射過程;   (5)工作完成自動放氣;   (6)樣品臺高度調(diào)節(jié)1秒完成;  ?。?)濺射過程可以利用曲線顯示,清晰直觀。  ?。?)極限真空:小于1Pa   5、軟硬件互鎖,防誤操作,安全可靠  ?。?)真空度高于100Pa,啟動真空保護,無法濺射;  ?。?)濺射電流高于50mA,停止濺射過程;  ?。?)真空泵工作時,系統(tǒng)無法進行放氣操作;   6、鍍層均勻,導電性良好。   https://www.chem17.com/st506164/product_38091672.html   http://www.gevee-tech.com.cn/product/198.html
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