檢測認證人脈交流通訊錄
- 射頻磁控濺射鍍膜儀
主要應用于配套掃描電鏡的樣品制備工作,同時可以滿足不同用戶對樣品涂層的制備要求。擁有優(yōu)秀的濺射系統(tǒng),可以更換不同的金屬靶材(金,鉑,銀,銥,鉻,銅等),實現(xiàn)高要求的細粒涂層。GVC系列為您提供優(yōu)質(zhì)的樣品制備,輕松助您取得更好地材料研究樣品, 獲得高質(zhì)量的顯微鏡觀測效果。
GVC-1000 全自動離子濺射儀(射頻磁控濺射鍍膜儀)性能參數(shù)
1、離子濺射儀工作原理:磁控濺射
2、可選靶材:金,鉑,金鈀合金,鉛,銀,銅,鉻,銻等
3、真空室:φ128×100高硅硼玻璃
4、全自動操作,簡單易用,非常適用鎢燈絲、臺式掃描電鏡等
(1)濺射電流自動調(diào)整——設(shè)定濺射電流后,系統(tǒng)自動調(diào)節(jié)真空度,從而達到設(shè)定的濺射電流,調(diào)整時間<5s,波動范圍<±5%;
(2)無需按“實驗”鍵調(diào)整濺射電流、無需操作“進氣閥”。
(3)濺射時間自動記憶——同類樣品一次設(shè)定即可;
?。?)參數(shù)改變自動調(diào)整——濺射過程中可以隨時調(diào)整濺射電流和濺射時長,系統(tǒng)自動計算疊加,無需終止濺射過程;
(5)工作完成自動放氣;
(6)樣品臺高度調(diào)節(jié)1秒完成;
?。?)濺射過程可以利用曲線顯示,清晰直觀。
?。?)極限真空:小于1Pa
5、軟硬件互鎖,防誤操作,安全可靠
?。?)真空度高于100Pa,啟動真空保護,無法濺射;
?。?)濺射電流高于50mA,停止濺射過程;
?。?)真空泵工作時,系統(tǒng)無法進行放氣操作;
6、鍍層均勻,導電性良好。
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