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Tergeo等離子清洗機產(chǎn)品概述

  • 這真不是您需要的產(chǎn)品?
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    •   Tergeo等離子清洗機產(chǎn)品概述:   根據(jù)勻膠機固定基片的方式不同又可細分為真空托盤和非真空托盤,而我們口中常說的“吸盤”便是采用真空吸附的方式,將基片吸附在真空托盤表面。由此而衍生的轉(zhuǎn)接托盤(圖1)便是利用同心圓的原理來實現(xiàn)基片和電機旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)速達到一致;   如何選擇合適的勻膠機吸盤?   勻膠機在旋涂過程中一般采用自轉(zhuǎn)式旋涂的方式來完成工藝。因此基片需要固定在旋轉(zhuǎn)吸盤上,通常采用的方法是真空吸附,所以吸盤的大小以及真空的強度兩者對基片吸附后產(chǎn)生的形變有一定的影響,如吸盤面積越小,吸附后產(chǎn)生的形變就越大,這時所旋涂的基片片內(nèi)膜厚誤差會加大,且容易產(chǎn)生干涉花紋,通過實際驗證后得出:吸盤面積占所吸附基片面積的1/2~2/3為佳。   更多產(chǎn)品信息訪問武漢月憶神湖科技有限公司   https://www.chem17.com/st504055/erlist_2333695.html   http://www.whyueyi.com/Products-36793039.html

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