檢測(cè)認(rèn)證人脈交流通訊錄
- 日本富士FUJI單成分濃度計(jì)(機(jī))的產(chǎn)品簡(jiǎn)介:
維護(hù)性和高精度內(nèi)線測(cè)量等的FUD-1Model-13的好處就那樣,成為作為半導(dǎo)體制造工藝用小型單元型發(fā)信器作為特長(zhǎng)的模型。
FUD-1Model-53/FUD-1Model-63※以下是構(gòu)成的一例。単成分濃度計(jì)(専用)
單成分濃度計(jì)的特點(diǎn):
實(shí)時(shí)濃度測(cè)量可能,濃度管理系統(tǒng)構(gòu)筑也簡(jiǎn)單
模擬DC4~20mA及數(shù)字RS232C標(biāo)準(zhǔn)裝備
標(biāo)準(zhǔn)配備測(cè)量錯(cuò)誤輸出和警報(bào)輸出
標(biāo)準(zhǔn)裝備自己診斷功能·錯(cuò)誤信息表示
小型·輕量小區(qū)型發(fā)信器在線直接設(shè)置可能
采用PFA的接液構(gòu)件、小輸出設(shè)計(jì)對(duì)藥液沒(méi)有影響
優(yōu)點(diǎn):
高精度連續(xù)計(jì)測(cè)可能
無(wú)需定期調(diào)整、校對(duì),無(wú)需維護(hù)
設(shè)置時(shí)的各種調(diào)整等不需要也容易設(shè)置
由于實(shí)時(shí)輸出的工程的反饋也容易
日本富士FUJI單成分濃度計(jì)(機(jī))的用途:
在CMP工序中的CMP襯墊或氧化劑濃度管理等
稀釋工程的各種藥液濃度管理等(H2O2?TMAH?HNO3?H2SO4?HCl等)
在清洗過(guò)程中的清洗液濃度管理等(HF?NH4OH?KOH?IPA等)
蝕刻工序中的蝕刻液濃度管理等(HF?H2SO4等)
規(guī)格:
形式FUD-1Model-13
測(cè)量參數(shù)超聲波傳播速度?溫度
顯示:LCD(濃度、溫度、音速/各種參數(shù))
輸出信號(hào)模擬DC4~20mA(可對(duì)濃度值自由設(shè)定)
數(shù)字RS232C(濃度、溫度、音速、錯(cuò)誤代碼)
警報(bào)上限測(cè)量異常.
電源AC100V~240V50/60Hz(也可以使用DC24V)
構(gòu)造面板掛載型(根據(jù)DIN規(guī)格)?盤(pán)內(nèi)設(shè)置型(可選擇安裝在防雨箱中)
環(huán)境溫度0~50℃RH85%以下(不結(jié)露)
0~100℃特別規(guī)格-10~160℃(100℃幅度)
功能:輸出范圍設(shè)定、警報(bào)輸出設(shè)定、濃度顯示移動(dòng)平均、濃度顯示偏移及增益設(shè)定功能、自我診斷功能、全息安全功能、異常值取消
RS485輸出(不能與RS232C同時(shí)輸出)
選項(xiàng)溫度輸出(DC4~20mA)
頻道大10ch
適配發(fā)信器Model-13:SA-20S26/SA-20S27/SA-20M5
日本富士濃度計(jì)
http://www.shyilide02.cn/Products-32296924.html
https://www.chem17.com/st392833/product_32296924.html
山東蘭通機(jī)電有限公司
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